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DSN-MFC微小氣體質(zhì)量流量控制器 氣體流量計(jì)

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DSN-MFC氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)  DSN系列氣體質(zhì)量流量控制器,即稱MassFlowController(縮寫為MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值
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  DSN-MFC氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)
  DSN系列氣體質(zhì)量流量控制器, 即稱Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
  標(biāo)準(zhǔn)量程(N2);0~1,5、10,50,100,200,500,1000sccm;
  準(zhǔn)精度:±1%F.S;   重復(fù)精度:±0.2%F.S
  響應(yīng)時(shí)間:電特性 <10sec 氣特性<1~4sec
  線性:±(0.5~1)%F.S  工作壓差范圍:0.05~0.3MPa
  耐壓:3,10MPa;  工作環(huán)境溫度:5~65℃
  輸入輸出信號(hào)電壓:0~+5.00V(輸入阻抗大于100K,輸出電流不大于3mA
  電源:+15V500mA、-15V500mA電連接器:D14pin
  外形尺寸:130*28*121mm
  重量:約1.0kg
  接口尺寸:Swagelok :Φ3.Φ6.Φ1/16〞Φ1/8.....
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