DSN-MFC氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)
DSN系列氣體質(zhì)量流量控制器, 即稱Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）；0～1，5、10，50，100，200，500，1000sccm；
準(zhǔn)精度：±1％F.S； 重復(fù)精度：±0.2%F.S
響應(yīng)時間：電特性 ＜10sec 氣特性＜1～4sec
線性：±（0.5～1）％F.S 工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
耐壓：3，10MPa； 工作環(huán)境溫度：5～65℃
輸入輸出信號電壓：0～+5.00V(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA
電源：+15V500mA、-15V500mA電連接器：D14pin
外形尺寸：130*28*121mm
重量：約1.0kg
接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ1/16〞Φ1/8.....
VCR接頭:Φ1/4〞.Φ1/8〞........
