3660 | 3665 | |
量程(N2) | 10SCCM-20SLPM | 30-150SLPM |
精度 | ±1.0%FS | ±1.5%FS |
有效范圍 | 2-99% | 5-99% |
重復(fù)性 | ±0.5%FS | |
響應(yīng)時(shí)間 | 2秒 | 3秒 |
動(dòng)作壓差 | 50-300Kpa | 150-300Kpa |
另有低壓差、高壓差產(chǎn)品可選， | ||
耐壓 | 1.0Mpa | |
泄漏率 | 1*10-8pa·m3/s以下 | |
溫度范圍 | 5-45℃ | |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) | |
材質(zhì) | 本體SUS316、SUS316L、磁性材料等 | |
密封圈VITON，選配NBR或FKM | ||
電氣接口 | DB9 | |
模擬信號(hào) | 0-5V輸入/輸出 | |
供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)250mA； | |
管路連接 | 標(biāo)配1/4F9 | 標(biāo)配3/8F9 |
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | 選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 | |
重量 | 約1000g | 約1500g |
針腳/顏色 | 定義 |
1針腳/棕色 | 閥門全開/全閉 |
2針腳/白色 | 0-5V輸出 |
3針腳/紅色 | +15VDC |
4針腳/黑色 | 電源COM |
5針腳/黃色 | -15VDC |
6針腳/灰色 | 0-5V輸入 |
7針腳/綠色 | 輸出COM |
8針腳/蘭色 | 輸入COM |
9針腳/紫色 | 閥門電源輸出 |
一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：在使用質(zhì)量流量控制器的時(shí)候，進(jìn)口前方加“ON/OFF電磁閥或手動(dòng)切斷閥”。
四：安裝前，請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。
五：通氣體時(shí)，請先開氣源，后設(shè)定值。
六：切勿在沒有通氣的情況下，對(duì)流量控制器進(jìn)行設(shè)定a。
七：使用完以后，請將流量控制器值歸零或斷電。
八：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài) 再操作。
