一、產(chǎn)品概述:
TXY970質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。TXY970采用熱式測量原理,直接用兩支快速反應(yīng)的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件,并采用哈氏合金傳感器,用于易結(jié)晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應(yīng)用,TXY970也同樣適用。
二、使用范圍:
它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
三、產(chǎn)品特點:
●直接熱式原理,無層流元件
●無壓損,抗結(jié)晶,抗腐蝕
●適用于各種低壓和高壓管道
●精確測量和控制氣體的質(zhì)量流量
●預(yù)熱時間短,零漂小,可靠性高
●多種氣體可選,也可自行輸入