產(chǎn)品特點
v 采用閉環(huán)控制伺服電機,數(shù)字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠的均一性。
v 5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),可選配10個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,z多100個階段。
v 內(nèi)置水平校準裝置,保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。
v 多重安全保護:
? 電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;
? 蓋子自鎖功能,防止飛片蓋開傷人;
? 雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,保證實驗人員安全。
v 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風險。
v 一機兩用,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。
v 符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計,取放樣品方便。
v 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
v 上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結構設計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置
v 可選氮氣吹干、氮氣保護,自動滴膠或簡易滴膠裝置,提供多的操作便利性。
v 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。
技術參數(shù)
型號 | 轉速(轉/分) | 轉速穩(wěn)定度 | 勻膠時間 | 旋涂基片尺寸mm | 外型尺寸(LxWxH)mm |
SC1 | 50-10000 | ±1% | 0-2000秒 | 圓片Φ5-Φ100,方片z大100x100 | 310x260x250 |