技術(shù)規(guī)格
類(lèi)型 | WET | DRY | FLEX |
可檢測(cè)的氦泄漏率mbar.L/s | |||
真空操作 | ≤ 5 x 10-12 | ≤ 3 x 10-11 | ≤ 5 x 10-12(配泵) |
吸槍操作 | ≤ 7x10-9 | ||
可測(cè)氦泄漏率 mbar.L/s (真空操作) | >0.1 | ||
檢測(cè)范圍 | 12個(gè)數(shù)量級(jí) | ||
允許進(jìn)口壓力 | 15mbar | ||
泵送速度50hz / 60hz | 2.5/3 m3/h | 1.6/1.8 m3/h | N/A |
在精細(xì)模式下的氦抽運(yùn)速度 | 3.1L/s | ||
泄漏率信號(hào)的時(shí)間常數(shù) | <1s | ||
啟動(dòng)時(shí)間 | ≤2min | ||
功率 | 420VA | 350VA | 200VA |
入口法蘭 | NW25 | ||
尺寸mm | 495x456x314 | ||
重量 | 40Kg | 35.5Kg | 30Kg |