機(jī)構(gòu)·方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承 · 工作臺(tái)回轉(zhuǎn)式 |
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半徑方向 回轉(zhuǎn)精度 | (0.02+0.0003H)µm (EC2500H) (0.015+0.0003H)µm (EC2700H) |
測定徑 測定高度 | 內(nèi)外徑都是?450mm 外徑570mm, 內(nèi)徑420mm |
裝載徑/積載重量 | ?600mm/60kg |
上下移動(dòng)量 | 400mm (使用b觸針臂時(shí)) |
回轉(zhuǎn)軸輪與上下 移動(dòng)部的平行度 | 0.4µm/200mm |