奧林巴斯正置金屬金相分析顯微鏡BX51/BX51M除了明場觀察方式外,還可配置暗場、偏光、微分干涉、熒光多種觀察裝置。UIS無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng),提供出色的圖像質(zhì)量;滿足了晶圓、化合物半導(dǎo)體的內(nèi)部,以及封裝芯片內(nèi)部和CSP bump的觀察。
一、奧林巴斯正置金屬金相分析顯微鏡BX51/BX51M的特點(diǎn):
1、 近紅外外透射反射觀察用顯微鏡
2、5X到10X紅外鏡頭,像差校正本涵蓋從可見光到近紅外整個波段
二、奧林巴斯正置金屬金相分析顯微鏡BX51/BX51M技術(shù)參數(shù):
1、光學(xué)系統(tǒng):UIS2光學(xué)系統(tǒng)
2、聚焦:
載物臺垂直運(yùn)動:25mm載物臺行程,帶有粗調(diào)限位器,粗調(diào)旋鈕可以調(diào)節(jié)扭力矩;
載物臺安裝位置可變,微調(diào)旋鈕高靈敏度(*小調(diào)節(jié)距離:1微米)
3、照明器:內(nèi)置透射光柯勒照明器;12V100W鹵素?zé)襞荩A(yù)調(diào)中);光強(qiáng)預(yù)置按鈕;光強(qiáng)LED指示器。
內(nèi)置濾色片(LBD-IF,ND6,ND25和一個可選空位)
4、物鏡轉(zhuǎn)盤:6孔轉(zhuǎn)換器
5、觀察筒:
寬視野(視場數(shù)22),寬視場三目觀察筒,傾角30度;寬視場人機(jī)工程學(xué)雙目觀察筒,傾角0~25度
超寬視野(視場數(shù)26.5);超寬視場三目觀察筒,傾角24度。
6、載物臺:
陶瓷表面同軸載物臺,帶有左手或右手低位驅(qū)動裝置,帶有旋轉(zhuǎn)裝置和扭力矩調(diào)節(jié)裝置。
可選購膠皮帽(也可提供物障礙、凹槽、同軸、平板、轉(zhuǎn)動式載物臺)。
7、聚光鏡:
阿貝(數(shù)值孔徑1.1),搖出式消色差(數(shù)值孔徑0.9);
消色差消球差(數(shù)值孔徑1.4);
相差、暗場(數(shù)值孔徑1.1);暗場干燥型(數(shù)值孔徑0.8~0.92);
暗場浸油型(數(shù)值孔徑1.20~1.40);
超低(數(shù)值孔徑0.16),用于1.25×~4×。