一、 氣體流量控制器產(chǎn)品概述
采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的 MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的 MEMS（ Microelectromechanicalsystems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償。
二、 氣體流量控制器技術(shù)參數(shù)
2.1 測量介質(zhì)：空氣，氮?dú)猓趸?，氬氣，氧氣，氫氣，氦?/span>
2.2 流量范圍： DN2：20-10000mL/min
DN3：1000-30000mL/min
注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) 20℃，101.325kPa。
(c)每個口徑量程范圍均可擴(kuò)大
(d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨(dú)標(biāo)定
2.3 允許誤差：±1.5%FS
2.4 精度保證溫度：15-35℃；
2.5 工作壓力范圍：
MFM:工作壓力≦1MPa 耐壓：3MPa
MFC：工作壓差：
≦1L/min：0.05-0.3MPa
1-30L/min：0.1-0.3MPa
耐壓：3MPa
2.6 供電電源：24VDC
2.7 輸入信號：0-5VDC, RS485通訊
2.8 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.9 環(huán)境溫度：5-45℃；
顯示位數(shù)：瞬時流量為 6位，累積流量 8位。
