產(chǎn)品特點(diǎn)
一次測(cè)量,實(shí)現(xiàn)高精度輪廓分析及粗糙度分析
·一次測(cè)量,實(shí)現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析
·實(shí)現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測(cè)量
·X向采用新型數(shù)字式傳感器,精度更高,Z1采用自主研發(fā)高精度多段式電感傳感器
多段式高精度傳感器具有超大量程,zui大限度保持了傳感器的原有精度。
采用高剛性高精度免維護(hù)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,精密控制系統(tǒng)。
采用高速并行數(shù)據(jù)采集單元,硬件觸發(fā)、硬件高速采樣,無延時(shí);足夠密集及穩(wěn)定的數(shù)據(jù)源為后期數(shù)據(jù)處理、計(jì)算提供zui有力的保障。
Vitarl 7 系列具有傳統(tǒng)的粗糙度輪廓儀的優(yōu)勢(shì)
測(cè)量功能
輪廓測(cè)量:各種類型工件表面的線要素,點(diǎn)要素、點(diǎn)與點(diǎn)的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑,可進(jìn)行直線度分析、凸度分析。
輪廓分析:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度測(cè)量:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數(shù):Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
測(cè)量案例圖
基礎(chǔ)參數(shù)
規(guī)格號(hào) | 參數(shù) |
測(cè)量范圍 | X軸 0-220mm可選 |
Z軸 0-620mm可選 | |
Z1軸 6mm,2mm | |
輪廓傳感器線性精度 | ≤±0.07%f.s.(95mm測(cè)桿) |
粗糙度傳感器線性精度 | ≤±(12nm + 3%) |
主要技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 規(guī)格 | |
驅(qū)動(dòng)器 | 行程 | 100~220mm |
采數(shù)間隔 | 0.05~2μm | |
輪廓直線度 | ≤0.3~0.5μm/100mm | |
粗糙度殘值 | ≤0.005~0.025μm | |
Z1軸傳感器 | 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)桿量程 | ±2mm; ±100μm; |
分辨率 | 0.015μm(±2mm);0.8nm(±100μm) | |
輪廓線性精度 | ≤ ±0.07% F.s. | |
粗糙度線性精度 | ≤±(12nm + 3%) | |
粗糙度重復(fù)性 | 1δ≤3nm | |
Z軸⽴柱 | ⾏程 | 320~620mm |
平臺(tái)(含防振臺(tái)架) | 尺⼨ | 500mm* 800mm;500mm*1000mm; |