一、技術(shù)特點(diǎn)
CV-3200系列是在Z1軸(檢出器)上配有高精度弧形光柵尺和新型測(cè)臂的輪廓測(cè)量儀。高精度弧形光柵尺能直接讀取測(cè)針的弧形軌跡,以實(shí)現(xiàn)高精度和高分辨力。與傳統(tǒng)型號(hào)相比,新測(cè)臂使Z1軸測(cè)量范圍增大了10mm同時(shí)減少了工件的干擾。測(cè)臂安裝部采用了磁性鏈接件,單此接觸就能完成測(cè)臂的裝卸,提高了易用性。
二、測(cè)量項(xiàng)目
各種類型工件表面的線要素、點(diǎn)要素,點(diǎn)與點(diǎn)的距離、線與線的距離,各要素的位置度包括:距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑,可進(jìn)行直線度分析,凸度分析等。
三、技術(shù)參數(shù)及配置
項(xiàng)目 | CV-3200S4 | |
X軸(橫臂) | 測(cè)量范圍 | 100mm |
直線度 | 0.8μm/100mm,2μm/200mm 當(dāng)X軸在水平方向上 | |
測(cè)量速度 | 0.02-5mm/s | |
驅(qū)動(dòng)速度 | 80mm/s | |
光柵分辨率 | 0.05µm | |
指示精度 | ±(1+0.01L)μm L:為驅(qū)動(dòng)長度(mm) | |
測(cè)量方向 | 向前/向后 | |
傾斜范圍 | ±45° | |
測(cè)量方法 | 反射式光學(xué)尺 | |
Z1軸(檢測(cè)器) | 測(cè)量范圍 | ±25mm |
分辨率 | 0.2µm | |
測(cè)量方法 | 光學(xué)尺 | |
指示精度 | ±(1.6+|7H|/12) µm±(2+4H/100)μm H:為水平位置上的測(cè)量高度 | |
指測(cè)針上/下運(yùn)動(dòng) | 弧形運(yùn)動(dòng) | |
測(cè)針方向 | 向上/向下 | |
測(cè)針抬起方式 | 自動(dòng)或手動(dòng) | |
測(cè)力 | 30mN | |
爬坡角度 | 上升77°下降83° | |
標(biāo)配測(cè)針 | 測(cè)針類型 | 硬質(zhì)合金針尖 |
測(cè)針半徑 | 25 µm | |
Z2軸(立柱) | 測(cè)量高度 | 300mm |
分辨率 | 1 µm | |
測(cè)量方法 | ABSOLUTE光學(xué)尺 | |
運(yùn)動(dòng)速度 | 0-20mm/s | |
儀器平臺(tái)及工裝夾具 | 花崗巖基座 | 600X450 |
X、Y軸移動(dòng)平臺(tái) | 130*100mm | |
重量 | 主機(jī) | 140kg |
控制箱 | 14kg | |
搖控箱 | 0.9kg | |
環(huán)境要求 | 氣壓 | 0.4MPa |
耗氣量 | 30L/min | |
電源 | 100-240VAC ±10%, 50/60Hz | |
環(huán)境 | 溫度:10~30℃;相對(duì)濕度:<85% |