新的光纖耦合TranSpec Micro薄膜厚度顯微鏡可以將薄膜厚度測量點(diǎn)的大小降到50-100um。測量點(diǎn)的圖像可通過裝在顯微鏡上的特殊彩色相機(jī)實(shí)時查看。
TranSpec Micro薄膜厚度測量儀和我們TranSpec和TranSpec Lite儀器一樣采用白光干涉原理。為了測量非常小的點(diǎn),TranSpec Micro使用裝有實(shí)時顯示相機(jī)的光纖耦合顯微鏡。光纖耦合纖維鏡可以將薄膜厚度測量點(diǎn)的大小降到50-100um(根據(jù)放大倍數(shù)的不同),測量點(diǎn)的圖像可通過裝在顯微鏡上的特殊彩色相機(jī)實(shí)時查看。