儀器特點(diǎn)
◆鑄鐵基座經(jīng)過嚴(yán)格的時(shí)效處理,保證整體穩(wěn)定性。
◆高牌號(hào)工作臺(tái),經(jīng)過嚴(yán)格熱處理時(shí)效,長(zhǎng)期使用保證基準(zhǔn)面不變形,導(dǎo)軌運(yùn)行精度穩(wěn)定。
◆采用優(yōu)秀的無(wú)限遠(yuǎn)高倍率光學(xué)系統(tǒng)。
◆采用LED光源照明系統(tǒng),保證高亮度,長(zhǎng)壽面。
◆采用無(wú)間隙光桿傳動(dòng)工作臺(tái),保證測(cè)量精度。
◆超高的工作距離,采用步進(jìn)電機(jī)升降,方便調(diào)節(jié),自帶DIC裝置插槽。
◆*粗、微調(diào)焦裝置,微調(diào)最小每格0.002mm。
◆貼近用戶的靈活性,儀器的部件升級(jí)無(wú)需專業(yè)人員,用戶可自行操作完成。
應(yīng)用領(lǐng)域
該儀器適用于LED、硅晶片、精密零件、導(dǎo)電粒子彩色濾光片、手機(jī)屏幕、FPD模組半導(dǎo)體晶片、FPC-PCB、IC封裝光盤CD、圖像傳感器、CCD、CMOS、PDA光源、薄膜等金相觀察及精確測(cè)量行業(yè)。
技術(shù)參數(shù)
儀器型號(hào) | RX-200 | RX-300 |
X,Y,Z向測(cè)量行程(mm) | 200x100x200 | 300x200x200 |
工作臺(tái)面(mm) | 400x300 | 450x350 |
外形尺寸(mm) | 600x350x1040 | 700x450x1040 |
測(cè)量精度 | X,Y軸:(3+L/200)μm Z軸:(5+L/200)μm | |
重復(fù)精度 | 3μm | |
光柵尺分辨率 | 0.001mm | |
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) | |
CCD | 高分辨率500萬(wàn)像素 | |
鏡頭 | 標(biāo)準(zhǔn)金相顯微鏡鏡頭(帶偏光片組,LED燈源) | |
物鏡 | 5X,10X,20X,50X | |
目鏡筒 | 鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒、30°傾斜、瞳距:55~75mm | |
目鏡 | 高亮點(diǎn)、大視場(chǎng)目鏡 | |
調(diào)焦組 | 粗、微調(diào)焦裝置,微調(diào)最小每格0.002mm | |
數(shù)顯裝置 | 多功能數(shù)顯表 | |
測(cè)量軟件 | YR-J | |
上光源 | LED燈 | |
下光源 | 平行光路設(shè)計(jì),無(wú)極連續(xù)可調(diào)LED冷光源 |
備注:根據(jù)客戶需求,可特殊定制。