產(chǎn)品特點(diǎn):
AL(智能漏率計(jì)演算)確保在全部測(cè)量范圍內(nèi)閃
電般的快速響應(yīng)
可旋轉(zhuǎn)顯示器/控制界面和可選遙控手持控制器
提高操作的靈活性
產(chǎn)品應(yīng)用:
INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件精確檢漏的要求, 靈活性測(cè)試,高靈敏度,快速于精確的結(jié)果,快速啟動(dòng),移動(dòng)性和 系統(tǒng)的可靠性。
UL1000符合做微電子工業(yè)市場(chǎng)的要求。其特點(diǎn)從堅(jiān)固的金屬外 殼并帶有適用于潔凈室的輪子,還有I-CAL(智能化漏率計(jì)算系統(tǒng)) 的噪聲抑制濾波,柔性均值算法和漂移抑制功能。可調(diào)用 防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。渦輪分子泵的抽速和壓縮 比可降低并消除氦污染。
應(yīng)用:半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù),該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵
工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝
元器件在組裝前的漏率測(cè)試
要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件的應(yīng)用場(chǎng)合