氣體濃度稀釋配比裝置SSGM:采用全新傳感生產(chǎn)工藝的高精度熱式氣體質(zhì)量流量控制器等高品質(zhì)的國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口的組件,結(jié)合工控液晶觸摸屏幕,圖形化視圖,讓系統(tǒng)運(yùn)行更穩(wěn)定、操作更簡(jiǎn)便;流量控制部分采用PID閉環(huán)控制技術(shù),響應(yīng)速度快,流量控制穩(wěn)定、精準(zhǔn);系統(tǒng)中管路接觸部分的材質(zhì)全部為B*316L不銹鋼,無(wú)易損件,經(jīng)久耐用,后期設(shè)備維護(hù)成本極低。
氣體濃度稀釋配比裝置SSGM:廣泛應(yīng)用于SPUTTER磁控濺射臺(tái)、等離子刻蝕、石油化工、高校實(shí)驗(yàn)室、科研單位、航空航天、光伏行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、真空鍍膜行業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、離子注入、精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過(guò)程控制器、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。