產(chǎn)品型號：SuperView W1
產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀
- 影像系統(tǒng)：1024×1024（2048×2048，2592×1944可選）
- 光學(xué)Zoom：1×，（0.75×，0.5×可選）
- 干涉物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×
- XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電控
- XY橫向分辨率：≤0.4μm
- Z軸行程：≥100mm
- Z向分辨率：0.1nm
- 客服
詳細(xì)信息
一、 產(chǎn)品描述
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
二、 產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能；
三、 應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應(yīng)用范例：
半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差
超精密加工.光學(xué)透鏡
精密加工.發(fā)動機葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭
標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度
四、性能特色
1.高精度、高重復(fù)性
1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；
2）*的隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得*的測量重復(fù)性；
2.一體化操作的測量分析軟件
1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，實現(xiàn)了快速批量測量的功能；
2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；
3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程；
4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能；
6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。
3.精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4.主動式隔振臺
具備空間6自由度的檢測和平衡控制，氣浮自適應(yīng)模式，能有效隔離2HZ以上振動噪聲，其中2HZ=15dB噪聲隔振效果達(dá)到90%，5HZ=28dB噪聲隔振效果達(dá)到97%，10HZ=40dB噪聲隔振效果達(dá)到99%；
5.持續(xù)的功能優(yōu)化
圍繞客戶需求進行持續(xù)的軟硬件升級優(yōu)化，定期更新軟件版本進行升級，提供適度的功能定制服務(wù)；
6.雙重防撞保護措施
除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止?fàn)顟B(tài)，限度的保護儀器，降低人為操作風(fēng)險。
五、應(yīng)用案例：
某單位復(fù)合材料測量
西華大學(xué)水機葉片磨損檢測
- 光學(xué)3D輪廓儀
- 影像系統(tǒng)：1024×1024（2048×2048，2592×1944可選）
- 光學(xué)Zoom：1×，（0.75×，0.5×可選）
- 干涉物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×
- XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電控
- XY橫向分辨率：≤0.4μm
- Z軸行程：≥100mm
- Z向分辨率：0.1nm
- 單次Z向掃描范圍：10.3mm，厚度重復(fù)性≤1nm
- Z向掃描速度：≥45μm/s
- 可測樣品高度：≥100mm
- 可測樣品反射率：0.05%-
- 水平調(diào)整：±5°
- 粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
- 臺階高測量：準(zhǔn)確度＜0.7%，重復(fù)性＜0.1% 1σ
- 主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效
- 生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
- 注釋：更多詳細(xì)產(chǎn)品信息，請自行下載解決方案查閱或者聯(lián)系我們獲取
物鏡倍率
2.5×
5×
10×
20×
50×
數(shù)值孔徑
0.075
0.13
0.3
0.4
0.55
可測樣品角度
4.3°
7.5°
17.5°
23.5°
33.4°
光學(xué)分辨率@550nm（µm）
3.7
2.1
0.92
0.69
0.5
焦深（µm）
48.6
16.2
3.04
1.71
0.9
工作距離（mm）
10.3
9.3
7.4
4.7
3.4
附錄1.依據(jù) ISO/ASME/EUR/GBT等國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)計算的2D，3D參數(shù)表：
2D參數(shù)表
標(biāo)準(zhǔn)名
參數(shù)
ISO 4287-1997
主剖面
粗糙度
波紋度
振幅參數(shù)
Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku
Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku
Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku
間距參數(shù)
PSm,Pdq
RSm,Rdq
WSm,Wdq
物料比參數(shù)
Pmr,Pdc
Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)
Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)
峰值參數(shù)
PPc
RPc
WPc
ISO 13565
ISO 13565-2
Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk
ISO 12085
粗糙度圖形參數(shù)
R,AR,R× ,Nr
波紋度圖形參數(shù)
W,AW,W×,Wte
其他圖形參數(shù)
Rke,Rpke,Rvke
AMSE B46.1
2D參數(shù)
Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt
DIN EN ISO 4287-2010
原始輪廓參數(shù)
Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
粗糙度參數(shù)
Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,
波紋度參數(shù)
Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
JIS B0601-2013
原始輪廓參數(shù)
Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
粗糙度參數(shù)
Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr
波紋度參數(shù)
Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
GBT 3505-2009
原始輪廓參數(shù)
Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
粗糙度參數(shù)
Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr
波紋度參數(shù)
Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
3D參數(shù)表
標(biāo)準(zhǔn)名
參數(shù)
ISO 25178
高度參數(shù)
Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa
函數(shù)參數(shù)
Smr,Smc,S×p
空間參數(shù)
Sal,Str,Std
復(fù)合參數(shù)
Sdq,Sdr
體積參數(shù)
Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv
形態(tài)參數(shù)
Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv
功能參數(shù)
Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq
ISO 12781
平面度參數(shù)
FLTt,FLTp,FLTv,FLTq
EUR 15178N
振幅參數(shù)
Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St
空間參數(shù)
Str,Std,Sal
復(fù)合參數(shù)
Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd
面積體積參數(shù)
Smr,Sdc
函數(shù)參數(shù)
Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq
功能性指標(biāo)參數(shù)
Sbi,Sci,Svi
EUR 16145 EN
振幅參數(shù)
Sa，Sq，Sy，Sz，Ssk，Sku
混合參數(shù)
Ssc，Sdq，Sdr
功能性指標(biāo)
Sbi，Sci，Svi，Sk，Spk，Svk
空間參數(shù)
Sds，Std，Stdi，Srw，Srwi
硬度參數(shù)
Hs，Hvol，Hv，Hps，Hpvol，Hpv，Hap，Hbp
ASME B46.1
3D參數(shù)
St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt
