商品詳情
SURFCOM 5000DX表面粗糙度儀 商品介紹
達(dá)到世界高水準(zhǔn)的0.3nm分辨率
● 檢測器採用高穩(wěn)定雙光路型He-Ne雷射干涉儀。
● 在大範(fàn)圍下仍具備高分辨率。
傳動部配備線性馬達(dá)（已取得專利）
● 透過線性馬達(dá)傳動，達(dá)成高精確度、高速移動。
● 降低振動量，高倍率下亦可穩(wěn)定測量。
測量1次便可分析粗度及輪廓
可在保持高精確度的前提下，提升測量效率。
在維持精確度的前提下成功達(dá)到大型化
安裝完設(shè)備本體後亦可加裝CNC工作臺
高穩(wěn)定雙光路型雷射干涉感測器
● 配備全新開發(fā)、運(yùn)用東京精密公司的重要技術(shù)「光纖雷射干涉測距系統(tǒng)」、分辨率可達(dá)0.3nm的高穩(wěn)定雙光路型雷射干涉感測器。
● 動態(tài)範(fàn)圍及分辨率比為43 333 000：1 ，只要掃描一次便可評估大範(fàn)圍的輪廓形狀及該形狀中所隱藏的細(xì)微表面形狀。
大範(fàn)圍、自動測量
● 掃描工件後會偵測工件的傾斜度，並讓傳動部自動執(zhí)行水平校正動作，讓工件和傳動部平行。
● 測量範(fàn)圍大，橫向?yàn)?00mm、縱向?yàn)?3mm
● 能以±45° 自動控制傳動部的傾斜度
● 可透過教導(dǎo)、重現(xiàn)功能，自動處理自開始測量起至列印為止的連續(xù)流程。
*傳動部位傾斜裝置為SURFCOM 5000DX-T、SD-T型的標(biāo)準(zhǔn)配備。
商品參數(shù)
測量范圍（mm） | Z軸（縱向） | 13mm/50mm測臂、臂26mm/100mm測臂 | |
X軸（橫向） | 200mm | ||
精度 | Z軸指示精度（縱向） | ±(0.2+2 H /100) mm （±0.206μｍ/ H±6ｍｍ） | |
測量分辨率 | 0.31ｎｍ/50ｍｍ測臂 | ||
X軸指示精度（橫向） | ±0.2＋L/1000μｍ ?。?plusmn;0.4μｍ/L200ｍｍ） | ||
測量分辨率 | 0.54nm | ||
直線度精度 | 0.05＋3L/10000μｍ?。?.11μｍ/L200ｍｍ） | ||
測量方式 | Z軸（縱向）高穩(wěn)定倍光路型激光干涉計 | ||
X軸（橫向）反光分析光尺 | |||
粗糙度處理功能 參數(shù)或計算類型 | JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO 標(biāo)準(zhǔn)Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku. Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM, SR,SAR | ||
評價曲線 | 剖面曲線、粗糙度曲線、濾波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線 波紋度曲線、KIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線(Motif)波紋度中心曲線(Motif)、包絡(luò)波紋度曲線 表面特性圖表負(fù)荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分曲線 | ||
傾斜補(bǔ)償 | 直線補(bǔ)償、R面補(bǔ)償、前半補(bǔ)償、后半補(bǔ)償、兩端補(bǔ)償、花鍵曲線補(bǔ)償（直線、R面、兩端補(bǔ)償可 以在任意范圍內(nèi)） | ||
CUTOFF值 | 0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm（9級）任意（0.001-50mm） | ||
縱倍率 | 50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍 | ||
橫倍率 | 0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍 | ||
輪廓度處理功能 參數(shù)或計算類型 | 點(diǎn)、直線、部分圓、橢圓、在點(diǎn)、小點(diǎn)、距離、坐標(biāo)著、極坐標(biāo)差、直交/極坐標(biāo)差顯示、交叉 要素（點(diǎn)-直線、直線-下線、圓-直線、圓-圓、圓-橢圓）、對稱要素（點(diǎn)-點(diǎn)、點(diǎn)-圓、點(diǎn)-橢圓、直 線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓?-橢圓）、面積計算、Overpin計算、尺寸線顯示功能、計算結(jié)果與 設(shè)計值比對、鏡面反轉(zhuǎn)、形狀合成功能、宏功能、自動要素判定、計算點(diǎn)的重復(fù)功能、工件軌跡功 能、峰值谷值搜尋功能、自動操作記錄.回放功能、形狀設(shè)計值比對、佳似合功能、設(shè)計值生成、 | ||
IGES/DXF轉(zhuǎn)換 | 基準(zhǔn)設(shè)定原點(diǎn)設(shè)定、X軸設(shè)定、平行移動、回轉(zhuǎn)移動 | ||
小測量間距 | 0.0005~1mm | ||
大測量點(diǎn)數(shù) | 大150,000點(diǎn) | ||
縱倍率 | 0．01～10,000,000倍（任意、自動） | ||
橫倍率 | 0．01～10,000,000倍（任意、自動） | ||
驅(qū)動速度 | 上下移動速度（Z軸） | 0~200mm/s | |
測量速度（X軸） | 0.03~3mm/s（粗糙度測量時） 0.02~20mm/s（輪廓度測量時） | ||
移動速度（X軸） | 0.02~60mm/s | ||
上下驅(qū)動范圍 | 500mm | ||
驅(qū)動部交換式 | 0.75mN、2mmR半徑、金剛石 | ||
驅(qū)動部交換式 | 0.75mN、2mmR半徑、金剛石 | ||
訂購指南
定貨號 | 產(chǎn)品名稱 |
MM-02426-00 | S5000DX表面粗糙度測量機(jī) |
MM-02426-90 | DM48588通用測針 |
MM-02426-91 | DM48515深槽用測針 |
MM-02426-92 | DM48514極小孔用測針 |
MM-02426-93 | DM48513小孔用測針 |
MM-02426-94 | DM48511光角度用測針 |
MM-02426-95 | DM48510上下測量用測針 |
MM-02426-96 | DM48509輪廓用高剛性測針 |
MM-02426-97 | DM48508輪廓用高剛性測針 |
MM-02426-98 | DM48507通用高剛性測針 |
MM-02426-99 | DM48505通用測針 |
資料下載
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東京精密簡介
東京精密，英文名：ACCRETECH，ACCRETECH－其發(fā)音為a-krei-tek，是英文ACCRETE（融合，共同成長）和TECHNOLOGY（科技，技術(shù)）的復(fù)合詞，意味著集合各方面的技術(shù)，智慧，人才，資源創(chuàng)造世界的產(chǎn)品。東京精密，作為一家精密測量設(shè)備及半導(dǎo)體制造設(shè)備公司，從1949年創(chuàng)立至今，一直都致力于滿足客戶需求的高生產(chǎn)性能產(chǎn)品開發(fā)與客戶支持服務(wù)。
東京精密大事記
1949年，東京精密成立。
1994年，東京精密成立北京辦事處；成立中國服務(wù)中心（北京）；東京精密開始在中國銷售測量儀器；與合作提供技術(shù)服務(wù)。
1996年，東京精密上海辦事處成立，加強(qiáng)對上海周邊客戶的服務(wù)。
1999年，東京精密深圳辦事處成立，加強(qiáng)珠三角地區(qū)的服務(wù)
2002年，東京精密中國法人公司——東精精密設(shè)備（上海）有限公司成立，設(shè)立保稅庫，可以進(jìn)行人民幣業(yè)務(wù)結(jié)算。東精精密設(shè)備(上海)有限公司作為日本東京精密在中國的業(yè)務(wù)紐帶，負(fù)責(zé)東京精密生產(chǎn)的所有產(chǎn)品在中國的銷售及服務(wù)工作。
2003年，成立重慶辦事處，加強(qiáng)中國西南地區(qū)的服務(wù)。
2009年，泰亞賽福與東京精密再次簽約，成為東京精密在中國地區(qū)的代理商。
