博思發(fā)科技公司的 PVC3000 系列 MEMS 熱電堆真空傳感器提供了突破性的真空測量解決方案。通過這種方案，可以測量從 1mTorr(0.13Pa)到一個標準大氣壓(760Torr，101KPa)的整個量程。很顯然，皮拉尼真空度傳感器的測量上限僅達到 30Torr。一個壓阻式壓力傳感器無法測量低于 10Torr 的真空度。一個昂貴的電容式壓力傳感器的測量下 限也僅有0.1Torr。PVC3000 系列傳感器可以同時取代上述幾種傳感器。此外，PVC3000 擁有超快響應(yīng)時間(不超過 2mSec)和超低功耗(典型值：45mW)的特點。通過休眠的手段，功耗還可以進一步減少。比如說，把休眠觸發(fā)設(shè)置為10Hz，那么功耗可以減少到 5mW。PVC3000 可以倍設(shè)計位差分結(jié)構(gòu)，將一個傳感器暴露于真空當(dāng)中(作為測量單元)，同時把另一個傳感器放置于大氣環(huán)境中(作為參考單元)。這樣的差分結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)自動內(nèi)部溫度補償，以及排除其他可能造成傳感器漂移的環(huán)境因素，以此達到良好的重復(fù)性和長期穩(wěn)定性。PVC3000 采用了博思發(fā)的第二代熱傳導(dǎo)傳感器芯片(PTCD20)，利用氣體的熱傳導(dǎo)率與該氣體的真空度成正比的原理設(shè)計而成。PVC3000 系列傳感器，現(xiàn)在向客戶提供兩種封裝形式。PVC3001 封裝在 TO5 的金屬殼體中，PVC3004封裝在 TO46 的金屬殼體中。特點 ?•量程：0.001~760 托（0.13~101K 帕）•響應(yīng)時間：小于 2 毫秒•功耗：小于 5mW（10Hz 喚醒頻率）•利用差分結(jié)構(gòu)實現(xiàn)自動內(nèi)部溫度補償（依賴于實際應(yīng)用電路）•可以浸泡于溶液中清洗，延長使用壽命應(yīng)用• 密閉真空系統(tǒng)的泄漏檢驗•真空包裝機•便捷式數(shù)字真空計條件•工作溫度：-25~85℃ ?•存儲溫度：-40~90℃•機械沖擊：100g 峰值（5 次跌落，3 軸）
特點 ?
•量程：0.001~760 托（0.13~101K 帕）
•響應(yīng)時間：小于 2 毫秒
•功耗：小于 5mW（10Hz 喚醒頻率）
•利用差分結(jié)構(gòu)實現(xiàn)自動內(nèi)部溫度補償（依賴于
實際應(yīng)用電路）
•可以浸泡于溶液中清洗，延長使用壽命
應(yīng)用
• 密閉真空系統(tǒng)的泄漏檢驗
•真空包裝機
•便捷式數(shù)字真空計
條件
•工作溫度：-25~85℃ ?
•存儲溫度：-40~90℃
•機械沖擊：100g 峰值（5 次跌落，3 軸）
