監(jiān)測制程壓力氣體中的污染物。儀器包含探測器和用于采集和報(bào)告數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)系統(tǒng)。

HPGP 101c 規(guī)格說明 (65.5 KB)

好處:
高壓氣體系統(tǒng)的速度分配
檢測氣體中的粒子以免其影響成品率
兼容氫、氧以及大多數(shù)無毒氣體
檢驗(yàn)規(guī)格
檢測制程規(guī)格
定量系統(tǒng)變化達(dá)標(biāo)
精確測量粒子尺寸
兼容Facility Net軟件的數(shù)據(jù)管理功能，包括全面的數(shù)據(jù)儲存、管理、報(bào)告和警報(bào)
被動空腔設(shè)計(jì)，需要較少的維護(hù)
不像其它系統(tǒng)，HPGP 在監(jiān)測時(shí)無需流體通過
純惰性氣體確保安全
管路采樣氣體泄露時(shí)會切斷電源

應(yīng)用:
氣體分配系統(tǒng)規(guī)格達(dá)標(biāo)
制程氣體監(jiān)測
放射性氣體監(jiān)測

特點(diǎn):
0.1 SCFM 流量的敏感度為0.1微米
8個(gè)粒徑通道
在線壓力范圍為40 到 150psig
被動式激光內(nèi)腔
多重處理布署探測器系統(tǒng)
安全的儀器外殼
雙重探測器運(yùn)作
氧和氫相容性
高壓管路氣體粒子監(jiān)測 (26.9 KB)

選擇粒子監(jiān)測儀 (46.5 KB)

粒子監(jiān)測基礎(chǔ)指導(dǎo)

激光粒子監(jiān)測儀：制程氣體經(jīng)常地被用于制造業(yè)的環(huán)境之中。使用管路高壓氣體，能夠效地監(jiān)測粒子水平。HPGP高壓氣體探測器的工作壓力范圍為40 到 150psig。0.1 SCFM流量的靈敏度是0.1微米。探測器被安裝在一個(gè)圓筒形的壓力容器內(nèi)，壓力容器起到安全外殼的作用。在運(yùn)作時(shí)，容器內(nèi)的污染物與干燥的氮一起被加壓。如果壓力管路向周圍泄漏氣體，或氣體向內(nèi)泄露進(jìn)入容器內(nèi)，則儀器的電源會被切斷。金屬入口表面為電鍍拋光的不銹鋼材料，與無毒氣體和空氣懸浮粒子相兼容。

系統(tǒng)包含HPGP粒子監(jiān)測儀和 PDS- PA 數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，帶有外接打印機(jī)。8個(gè)粒徑通道顯示在 5英寸的CRT顯示屏上，以備值機(jī)員檢視。數(shù)據(jù)被制成表格或分布圖的格式，數(shù)據(jù)可按分別的方式或累積的方式顯示出來