多通道光譜儀/激光誘導(dǎo)激光光譜系統(tǒng)

什么是激光誘導(dǎo)激光光譜系統(tǒng)？

激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)是一種原子發(fā)射光譜儀。可以對(duì)固相、液相和氣相基體中幾乎所有元素進(jìn)行定性和定量的分析。不同于傳統(tǒng)的檢測(cè)方法如ICP-OES或者XRF，LIBS在檢測(cè)過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行復(fù)雜的樣品制備。為了達(dá)到這個(gè)目的，LIBS采用高能量聚焦脈沖激光光束將樣品激發(fā)至等離子態(tài)，對(duì)產(chǎn)生的對(duì)應(yīng)元素發(fā)射譜進(jìn)行分析。元素發(fā)射譜的波長(zhǎng)與元素的種類直接相關(guān)，而元素譜線的強(qiáng)度則和元素的含量相關(guān)。

激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)特點(diǎn)

激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)系統(tǒng)在進(jìn)行元素分析的時(shí)候，需要樣品量極少，對(duì)樣品的破壞性??；具有自清潔能力，幾乎不需要樣品制備；可以實(shí)現(xiàn)快速實(shí)時(shí)在線分析；具有遙測(cè)能力，可實(shí)現(xiàn)有毒、強(qiáng)輻射等惡劣環(huán)境中的遠(yuǎn)距離、非接觸性測(cè)量；具有ppm量級(jí)探測(cè)靈敏度，可對(duì)痕量元素進(jìn)行探測(cè)。

激光誘導(dǎo)擊穿光譜產(chǎn)品構(gòu)成：

多通道光譜儀MX2500+，憑借其高效的外部同步時(shí)鐘，的協(xié)同了所有通道實(shí)現(xiàn)精確的延遲采集，準(zhǔn)確的在原子激發(fā)輻射突出時(shí)采集到完整的原子譜線信號(hào)。同時(shí)，MX2500+可以應(yīng)客戶的需求在180-1100nm的范圍內(nèi)自由的配置光譜儀的通道數(shù)量和覆蓋范圍，系統(tǒng)自帶的高效時(shí)鐘可以的同步所有通道，并同時(shí)實(shí)現(xiàn)精確觸發(fā)兩臺(tái)外部設(shè)備。（如激光器或微波增強(qiáng)設(shè)備）

激光器：常使用Nd:YAG激光器，激光器的脈沖寬度一般為納秒量級(jí)，能夠在極短時(shí)間內(nèi)在極小面積上集中大量能量，作為系統(tǒng)激勵(lì)源，將樣品表面微量物質(zhì)剝離并激發(fā)出等離子體。

樣品倉(cāng)：密閉穩(wěn)定的倉(cāng)式結(jié)構(gòu)，一般會(huì)包含樣品平臺(tái)，激光聚焦和收光光路，氣體吹掃系統(tǒng)，成像系統(tǒng)，激光安全保護(hù)等配套裝置。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 可搭配穩(wěn)定高效的樣品倉(cāng)系統(tǒng)

· 可升級(jí)光譜模塊

· 支持雙脈沖激光器

· 寬光譜高分辨率測(cè)量，180-1100nm范圍內(nèi)多達(dá)16384個(gè)像元

· 高觸發(fā)信號(hào)精度（±10ns）

應(yīng)用方向：

· 環(huán)境監(jiān)測(cè)（土壤污染，工業(yè)生產(chǎn)）

· 材料分析（金屬，煤炭，塑料）

· 醫(yī)學(xué)和生物化學(xué)（骨骼，牙齒）

· 國(guó)家安全（爆炸，生化）

· 藝術(shù)品鑒定（顏料，陶瓷，寶石）

LIBS系統(tǒng)應(yīng)用：

土壤&農(nóng)作物污染檢測(cè)：

隨著工業(yè)的發(fā)展，土壤污染也日益嚴(yán)重，從而會(huì)對(duì)植物，尤其是農(nóng)作物造成很大影響。

海洋光學(xué)的客戶使用MX2500+光譜儀組合樣品倉(cāng)，在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)使用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)進(jìn)行土壤和農(nóng)作物中重金屬成分進(jìn)行研究，結(jié)合對(duì)應(yīng)重金屬元素的濃度標(biāo)定，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)元素在土壤和農(nóng)作物中的含量測(cè)量。由于激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)無(wú)需樣品制備的特點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)快速測(cè)量，因此研究結(jié)果對(duì)未來(lái)的土地污染防治，農(nóng)作物生產(chǎn)方面起到很大的指導(dǎo)意義。

古玩鑒定：

在經(jīng)濟(jì)日漸繁榮的今天，古玩收藏已不再是文人雅士的，而逐漸成為人們經(jīng)濟(jì)生活的一部分。海洋光學(xué)的MX2500+激光誘導(dǎo)等離子體光譜分析儀引進(jìn)到古玩鑒定中，以實(shí)現(xiàn)更快、更準(zhǔn)確地鑒定古玩真?zhèn)蔚哪康摹?/span>

系統(tǒng)用極其微小的一束激光打在鑒定樣品上，通過(guò)接收激發(fā)的等離子體實(shí)現(xiàn)對(duì)微量樣品的光譜分析。該檢測(cè)對(duì)樣品的損傷是分子級(jí)別的（相對(duì)于把樣品放到桌子上產(chǎn)生的損傷還?。?；同時(shí)，MX2500+具有體積小巧、便于攜帶的優(yōu)勢(shì)。MX2500+系統(tǒng)將為古玩鑒定專家?guī)?lái)較高的準(zhǔn)確性，使這個(gè)古來(lái)的行業(yè)煥發(fā)青春活力。

多通道應(yīng)用：

煤炭&金屬測(cè)量：

傳統(tǒng)的煤炭分析方法耗時(shí)長(zhǎng)，無(wú)論在煤炭生產(chǎn)或是使用中無(wú)法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)的成分分析，尤其是對(duì)于其中部分成分（硫）含量的實(shí)時(shí)檢測(cè)無(wú)法實(shí)現(xiàn)，因而無(wú)法進(jìn)行實(shí)時(shí)的質(zhì)量控制。海洋光學(xué)的MX2500+組成的激光誘導(dǎo)擊穿光譜測(cè)量系統(tǒng)作為一種紫外波段特殊優(yōu)化的快速成分分析設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)從煤炭生產(chǎn)到煤炭燃燒各個(gè)環(huán)節(jié)的實(shí)時(shí)監(jiān)控。

等離子體發(fā)光測(cè)量：

MX2500+不僅僅可以組建激光誘導(dǎo)擊穿光譜系統(tǒng)，還可以用在各種各樣的原子光譜測(cè)量場(chǎng)合。例如電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法（ICP-OES）聯(lián)合使用，作為燃燒爐后端光譜采集設(shè)備。

寬波段、高分辨的多通道光譜儀MX2500+也是激光的測(cè)量的應(yīng)用中的一把利器。

大氣壓輝光放電過(guò)程中會(huì)生成等離子體，采用多通道光譜儀MX2500+測(cè)量等離子體，對(duì)使用大氣壓輝光放電的工作實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)過(guò)程監(jiān)測(cè)。

等離子刻蝕是半導(dǎo)體及微系統(tǒng)制造超大規(guī)模集成電路制造過(guò)程中的關(guān)鍵步驟，使用多通道光譜儀MX2500+實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體光譜，即可在刻蝕過(guò)程中精確的定位蝕刻終點(diǎn)，提升刻蝕的工藝水平。

技術(shù)參數(shù)