日本SNP系列真空回流焊爐是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線的連續(xù)型設(shè)備。它采用上部熱風(fēng),下部加熱板作為特殊加熱單元,廣泛應(yīng)用各種范圍的生產(chǎn) 和實驗測試。另外,由于采用上部熱風(fēng)加熱彌補了傳統(tǒng)高溫真空焊*靠接觸式加熱所導(dǎo)致的均溫性差以及非金屬基板的熱傳導(dǎo)問題,下部提供 特殊高溫加熱板,滿足金屬或陶瓷基板等大熱容量功率器件快速升溫要求。
傳輸方式 設(shè)備采用入口出口鏈條傳送,爐內(nèi)階梯升降傳送方式。
伺服托桿平移機構(gòu)可以解決傳統(tǒng)鏈條輸送方式產(chǎn)生的軌道變形卡板的問題。
加熱性能 上部熱風(fēng)加熱彌補了傳統(tǒng)高溫回焊爐*靠接觸式加熱所導(dǎo)致的均溫性差,以及非金屬基板的熱傳導(dǎo)問題;下部采用高溫加熱板,溫度可設(shè) 定450度,可以滿足金屬或陶瓷基板等大熱容量功率器件快速升溫要求;升溫和降溫斜率可達8℃/。
冷卻性能 循環(huán)冷卻區(qū)的下部結(jié)構(gòu)相同,均為水冷板結(jié)構(gòu),上部前3個冷卻溫區(qū),內(nèi)部裝有風(fēng)扇,吹風(fēng)至基板表面,提高了冷卻效率,使而保證基板有較大的 冷卻速度及很低的出板溫度。冷區(qū)出口上部為迷宮結(jié)構(gòu),可以減少氣體的外泄。
助焊劑回收性能 加熱區(qū)助焊劑回收裝置設(shè)置在真空區(qū)與加熱區(qū)之間,用了冷卻、液化等[環(huán)流助焊劑回收方式]進行回收,并配有動力馬達。同時采用了水冷結(jié) 構(gòu),提高了回收效率。另外,在回收裝置上設(shè)置了氮氣入口,以保證爐內(nèi)濃度的穩(wěn)定。蓋板拆卸方便,便于維護。