應(yīng)用介紹:普遍應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。
主要特點:箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節(jié)能等特點,優(yōu)良的送風、排風系統(tǒng),確保爐箱溫度均勻,吸風口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。
一、技術(shù)指標與基本配置:
1.1使用溫度:RT~400℃,溫度:450℃;
1.2爐膛腔數(shù):2個,上下布置;
1.3爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:
1.4空爐升溫時間:1.5h;
1.5空爐降溫時間:375℃--80℃;降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風冷);
1.6.溫度和氧含量記錄:進口無紙記錄儀或有紙記錄儀;
二、氧含量(配氧分析儀):
2.1高溫狀態(tài)氧含量:≤ 10ppm +氣源氧含量;
低溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
2.2控溫穩(wěn)定度:±1℃;
溫度均勻度:±10℃(400℃平臺);
三、事件輸出:
3.1配置PLC,可實現(xiàn)多事件輸出控制氣氛、水等開關(guān)和報警;
3.2控制:上下爐腔可單獨控溫、通氣、報警保護;
3.3控溫儀表:進口溫控儀;
3.4控溫點數(shù):2點;
3.5超溫報警點數(shù):2點;檢測點數(shù):2點;
3.6報警保護:超溫、斷偶等聲光報警保護;超溫保護:獨立感溫式超溫保護器;
3.7電機保護:電機過電流、水冷保護;
四、工藝線標準
4.1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃
4.2、200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘
4.3、再40min升到375℃
4.4、375℃恒溫1H
4.5、最后以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75℃
圖一、整體工藝曲線
圖二、工藝效果
真萍科技作為專業(yè)的烘箱設(shè)備制造廠商,可根據(jù)客戶特殊需求定制您需要的滿意產(chǎn)品,有需求的客戶。