旋轉(zhuǎn)涂層機 TA-280Q

產(chǎn)品簡介：

主要用于液體，膠體在材料表面形成薄膜。

適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不銹鋼，金屬等制版表面涂覆工藝。

可在科研，教育，生產(chǎn)中應(yīng)用。

"spin coater " 行業(yè)稱：勻膠機 勻膠臺 甩膠機、旋涂儀 旋轉(zhuǎn)涂膜機 旋涂機

產(chǎn)品型號：

TA-280Q勻膠機? 工作主機獨立且可臺面嵌入式安裝，控制器分置。

TA-280Q勻膠機： 工作腔內(nèi)徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。

主要特點：

*高精度26程序控制器：

可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程；

每個涂敷工藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；

加速度（及負(fù)加速度），可設(shè)置。

中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。

操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過程模板程序，方便快速調(diào)試并存儲程序。

設(shè)置程序：標(biāo)準(zhǔn)通用符號，6鍵操作，人機交互式對話，提示操作。

無需培訓(xùn)，上手就會操作。

*可連接滴膠機，自動控制在必要的瞬間滴膠，自動控制重復(fù)定量滴膠。

重復(fù)的自動控制操作，是人工不可能及的。

*工作腔可氮氣保護(hù)。

。

*真空吸片，爪卡機構(gòu)。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機構(gòu)工作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。

*中間結(jié)構(gòu)定位：圓形基片使用工具完成中間定位。方便快捷，定位精度高。

主機標(biāo)準(zhǔn)配備一片真空吸盤即可滿足（TA-280適用3英寸-11英寸基片）；（TA-360適用3英寸-14英寸基片）。

小于3英寸可使用定制真空吸盤。

*卡盤，吸盤品種豐富，適應(yīng)各種需要。

*真空吸片系統(tǒng)

安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度，一定在安全的真空度下，

電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。運行中失去真空，系統(tǒng)保護(hù)性停機。

*伺服電機，轉(zhuǎn)速精度更高：300 - 10000 轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：± 0.1 轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分

技術(shù)參數(shù)：

單相交流電源：220V.50Hz

電機功率：200W

轉(zhuǎn)數(shù)：300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。

可設(shè)定時間：1---9999秒。

標(biāo)準(zhǔn)包裝：尺寸： 490mm寬 x 400mm深 x 300 mm高 ,

可選配件

1. 特殊真空吸盤

2. 各種卡盤

3. 60升/分無油真空泵

4．滴膠機