微小流量計
應(yīng)用行業(yè):
微小流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣等清潔氣體的流量,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、化工、醫(yī)藥、食品等產(chǎn)品制造過程中氣體流量的檢測及控制,醫(yī)院氧氣消耗量計量、實驗室氣體流量的檢測等,口徑*小至1mm,螺紋連接。
不同于傳統(tǒng)的“熱傳感器”方式采用了多個熱傳感器和多個熱源來測量氣體的質(zhì)量流量(風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理),HLA微小流量計采用了多個熱傳感器和一個微熱源(量熱式熱質(zhì)量流量原理),大大減少了環(huán)境對測量的影響。HLA微小流量計的熱源十分微小,幾乎不需要時間進行加熱。傳感器插入在相對大的流場中,在無氣體流動時,傳感器的熱源對環(huán)境無影響,不會因此引起氣體對流而導(dǎo)致零點變化。所以,HLA微小流量計具有極短的響應(yīng)時間和優(yōu)良的零點穩(wěn)定性。
主要特點:
1、 采用微機電系統(tǒng)芯片作為傳感器,流量計的靈敏度*同時具有良好的零點穩(wěn)定性;
2、 單個芯片上實現(xiàn)多傳感器集成,使該流量計的量程比大于100:1;
3、 和傳統(tǒng)的機械式流量計比較,壓力損失大幅減小,極大的降低了能源消耗;
4、 采用LCD顯示瞬時流量和累積流量,清晰直觀,讀數(shù)方便;
5、 本流量計帶有RS-485通訊模塊,配合上位計算機網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)集中管理;
6、 可以選配4-20mA DC電流信號輸出;
7、 通過國家防爆認(rèn)證,標(biāo)志為ExiaIICT4。
測量范圍 | 0.45-45Nm/s(流速) |
精 確 度 | ±(1.5+0.15FS)% |
環(huán)境溫度 | -10-55℃ |
介質(zhì)溫度 | -20-65℃ |
濕 度 | ≤95%RH |
顯 示 | 瞬時流量(0.000-999999.999)、累計流量(0..999) |
通信方式 | RS485 |
輸出信號 | 4-20mA |
供電電源 | 8-24VDC |
連 接 | NPT-F |
校準(zhǔn)條件 | 氮氣,20℃,101.325kPa;可根據(jù)用戶要求進行實際介質(zhì)標(biāo)定 |
通徑 (mm) | 接口 尺寸 | 工作壓力 (MPa) | 流量范圍 | 備注 | |||
SCCM | SLPM | SCFM | NCMH | ||||
3.0 | 1/8〞 | 3.0 | 15-1500 | 0.15-15 | | | |
6.0 | 1/4〞 | 3.0 | | 0.5-50 | 0.02-2 | 0.035-3.5 | |
8.0 | 3/8〞 | 3.0 | | 1.2-120 | 0.045-4.5 | 0.075-7.5 | |
12.0 | 1/2〞 | 3.0 | | 3-300 | 0.1-10 | 0.17-17 | |
19.0 | 3/4〞 | 3.0 | | 10-1000 | 0.35-35 | 0.6-60 |
SLPM: 標(biāo)升/分
SCFM: 標(biāo)立方英尺/分
NCMH: 標(biāo)方/小時
標(biāo)準(zhǔn)狀況(標(biāo)況):20℃,101.325kPa。
微小流量計行業(yè)應(yīng)用:
微小流量計在曝氣池氧含量的控制中起到關(guān)鍵作用,是控制系統(tǒng)中的眼睛,基于流量計熱式原理,該流量計不需要溫度、壓力補償,可以輸出4~20mADC流量和溫度信號。在測量到曝氣流量后通過控制系統(tǒng)與需氧量相比較,產(chǎn)生的反饋信號控制調(diào)節(jié)閥的動作,當(dāng)曝氣量大于所需量閥門開度減??;當(dāng)曝氣量小于所需量閥門開度增大,使供氣量達到要求
HLA微小流量計的高可靠性和重復(fù)性,以及現(xiàn)場的免維護性,諸多優(yōu)點使該產(chǎn)品在鼓風(fēng)曝氣測量系統(tǒng)中發(fā)揮的作用日益明顯。它不但適用在曝氣測量,也同樣適用在污水處理的廢氣回收等工藝,為污水處理提供了重要保證。
微小流量計應(yīng)用于飲料設(shè)備及其它需測量微小流量的設(shè)備和行業(yè),提供**測量小流量(大概范圍35cc/m--2000cc/m)的解決方案,通過提供脈沖信號來計算流量;測量誤差正負1.5%,介質(zhì)為溫度范圍-5℃--+95℃的水和其它可兼容流體,*高壓力可達20bar.
HL系列微小流量計是一種采用熱式原理設(shè)計專門測量微小流量的專用微小流量計,它具有*的精度,特別是在高溫和高壓的條件下也是如此。電子脈沖發(fā)生器也集成在流量計內(nèi),在長期連續(xù)工作的條件下也能保持±1.5%的精度和±0.3%的重復(fù)性。由于靈巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計,微小流量計在工作時不會形成沉淀,所以儀表的工作完成是“潔凈”的。因此,即使是極為苛刻的要求,例如半導(dǎo)體集成電路和芯片的生產(chǎn)流程中使用的刻蝕劑,具有*的耐腐蝕性,并如有一個極微小的顆粒落下,也會使芯片成為廢品,這些HL系列微小流量計都能滿足。該系列微小流量計用途十分廣泛:可用于測量、調(diào)節(jié)、分配液體,包括工業(yè)、化學(xué)、石油和商用咖啡機等。
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