微小流量計(jì)
應(yīng)用行業(yè):
微小流量計(jì)可測(cè)量空氣/氧氣/氮?dú)?氬氣/二氧化碳?xì)獾惹鍧崥怏w的流量,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、化工、醫(yī)藥、食品等產(chǎn)品制造過程中氣體流量的檢測(cè)及控制,醫(yī)院氧氣消耗量計(jì)量、實(shí)驗(yàn)室氣體流量的檢測(cè)等,口徑*小至1mm,螺紋連接。
不同于傳統(tǒng)的“熱傳感器”方式采用了多個(gè)熱傳感器和多個(gè)熱源來測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理),HLA微小流量計(jì)采用了多個(gè)熱傳感器和一個(gè)微熱源(量熱式熱質(zhì)量流量原理),大大減少了環(huán)境對(duì)測(cè)量的影響。HLA微小流量計(jì)的熱源十分微小,幾乎不需要時(shí)間進(jìn)行加熱。傳感器插入在相對(duì)大的流場(chǎng)中,在無氣體流動(dòng)時(shí),傳感器的熱源對(duì)環(huán)境無影響,不會(huì)因此引起氣體對(duì)流而導(dǎo)致零點(diǎn)變化。所以,HLA微小流量計(jì)具有極短的響應(yīng)時(shí)間和優(yōu)良的零點(diǎn)穩(wěn)定性。
主要特點(diǎn):
1、 采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片作為傳感器,流量計(jì)的靈敏度*同時(shí)具有良好的零點(diǎn)穩(wěn)定性;
2、 單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)多傳感器集成,使該流量計(jì)的量程比大于100:1;
3、 和傳統(tǒng)的機(jī)械式流量計(jì)比較,壓力損失大幅減小,極大的降低了能源消耗;
4、 采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累積流量,清晰直觀,讀數(shù)方便;
5、 本流量計(jì)帶有RS-485通訊模塊,配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理;
6、 可以選配4-20mA DC電流信號(hào)輸出;
7、 通過國家防爆認(rèn)證,標(biāo)志為ExiaIICT4。
測(cè)量范圍 | 0.45-45Nm/s(流速) |
精 確 度 | ±(1.5+0.15FS)% |
環(huán)境溫度 | -10-55℃ |
介質(zhì)溫度 | -20-65℃ |
濕 度 | ≤95%RH |
顯 示 | 瞬時(shí)流量(0.000-999999.999)、累計(jì)流量(0..999) |
通信方式 | RS485 |
輸出信號(hào) | 4-20mA |
供電電源 | 8-24VDC |
連 接 | NPT-F |
校準(zhǔn)條件 | 氮?dú)猓?0℃,101.325kPa;可根據(jù)用戶要求進(jìn)行實(shí)際介質(zhì)標(biāo)定 |
通徑 (mm) | 接口 尺寸 | 工作壓力 (MPa) | 流量范圍 | 備注 | |||
SCCM | SLPM | SCFM | NCMH | ||||
3.0 | 1/8〞 | 3.0 | 15-1500 | 0.15-15 | | | |
6.0 | 1/4〞 | 3.0 | | 0.5-50 | 0.02-2 | 0.035-3.5 | |
8.0 | 3/8〞 | 3.0 | | 1.2-120 | 0.045-4.5 | 0.075-7.5 | |
12.0 | 1/2〞 | 3.0 | | 3-300 | 0.1-10 | 0.17-17 | |
19.0 | 3/4〞 | 3.0 | | 10-1000 | 0.35-35 | 0.6-60 |
SLPM: 標(biāo)升/分
SCFM: 標(biāo)立方英尺/分
NCMH: 標(biāo)方/小時(shí)
標(biāo)準(zhǔn)狀況(標(biāo)況):20℃,101.325kPa。
微小流量計(jì)行業(yè)應(yīng)用:
微小流量計(jì)在曝氣池氧含量的控制中起到關(guān)鍵作用,是控制系統(tǒng)中的眼睛,基于流量計(jì)熱式原理,該流量計(jì)不需要溫度、壓力補(bǔ)償,可以輸出4~20mADC流量和溫度信號(hào)。在測(cè)量到曝氣流量后通過控制系統(tǒng)與需氧量相比較,產(chǎn)生的反饋信號(hào)控制調(diào)節(jié)閥的動(dòng)作,當(dāng)曝氣量大于所需量閥門開度減??;當(dāng)曝氣量小于所需量閥門開度增大,使供氣量達(dá)到要求
HLA微小流量計(jì)的高可靠性和重復(fù)性,以及現(xiàn)場(chǎng)的免維護(hù)性,諸多優(yōu)點(diǎn)使該產(chǎn)品在鼓風(fēng)曝氣測(cè)量系統(tǒng)中發(fā)揮的作用日益明顯。它不但適用在曝氣測(cè)量,也同樣適用在污水處理的廢氣回收等工藝,為污水處理提供了重要保證。
微小流量計(jì)應(yīng)用于飲料設(shè)備及其它需測(cè)量微小流量的設(shè)備和行業(yè),提供**測(cè)量小流量(大概范圍35cc/m--2000cc/m)的解決方案,通過提供脈沖信號(hào)來計(jì)算流量;測(cè)量誤差正負(fù)1.5%,介質(zhì)為溫度范圍-5℃--+95℃的水和其它可兼容流體,*高壓力可達(dá)20bar.
HL系列微小流量計(jì)是一種采用熱式原理設(shè)計(jì)專門測(cè)量微小流量的專用微小流量計(jì),它具有*的精度,特別是在高溫和高壓的條件下也是如此。電子脈沖發(fā)生器也集成在流量計(jì)內(nèi),在長期連續(xù)工作的條件下也能保持±1.5%的精度和±0.3%的重復(fù)性。由于靈巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),微小流量計(jì)在工作時(shí)不會(huì)形成沉淀,所以儀表的工作完成是“潔凈”的。因此,即使是極為苛刻的要求,例如半導(dǎo)體集成電路和芯片的生產(chǎn)流程中使用的刻蝕劑,具有*的耐腐蝕性,并如有一個(gè)極微小的顆粒落下,也會(huì)使芯片成為廢品,這些HL系列微小流量計(jì)都能滿足。該系列微小流量計(jì)用途十分廣泛:可用于測(cè)量、調(diào)節(jié)、分配液體,包括工業(yè)、化學(xué)、石油和商用咖啡機(jī)等。
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