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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫>機械設(shè)備>制熱設(shè)備>烤箱>12寸/8寸/6寸晶圓烘烤箱
  • 12寸/8寸/6寸晶圓烘烤箱

FB 12寸/8寸/6寸晶圓烘烤箱

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  • 型號FB
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2021-06-26
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限第1年
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量326
  • 人氣值517
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12寸/8寸/6寸晶圓烘烤箱晶圓智能烘箱采用智能烘箱過程管理系統(tǒng)，由上海和呈儀器有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理
12寸/8寸/6寸晶圓烘烤箱 產(chǎn)品詳情

12寸/8寸/6寸晶圓烘烤箱

晶圓智能烘箱采用智能烘箱過程管理系統(tǒng)，由上海和呈儀器有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理?？刂品奖恪⒉僮骱唵?、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！

晶圓智能烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。

晶圓智能烘箱主要參數(shù)介紹：
溫度范圍：室溫+20℃～300
均勻度：±1.5%
潔凈等級： Class100
升溫速度：常溫～300℃,升溫速度>6℃/min
降溫速度：降溫斜率程序可控，200℃～ 120℃，3.5度/分鐘，120℃～ 65℃約1.5度/分鐘
控制系統(tǒng)：歐姆龍PCL+PC工控電腦。

智能控制系統(tǒng)特點：
◆ 可接入MES和ERP通訊
◆ 權(quán)限分級管理，給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼
◆ 智能控制系統(tǒng),歷史數(shù)據(jù)、操作、報警，事件等等數(shù)據(jù)查詢，記憶操作步驟，操作便捷
◆ PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù)，使用 Excel 等常用軟件可以讀取，短數(shù)據(jù)記錄間隔5S；
◆ 工廠系統(tǒng)，選擇烘烤工藝，啟動/停止烘箱；
◆ 工廠系統(tǒng)根據(jù)，過程判斷待烤料件工位，記錄反饋工位信息；
◆ 系統(tǒng)控制開/關(guān)門等動作；
◆ 系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如：超溫，氮氣不足，含氧量超標(biāo)、門未關(guān)到位；
◆ 實施記錄各種相關(guān)數(shù)據(jù)，如，溫度，料件ID，工藝信息

產(chǎn)品參考圖：

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng) ERP
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