| 微小型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 關(guān)鍵字：流量計(jì),孔板流量計(jì),浮子流量計(jì),傳感器,質(zhì)量流量計(jì),,,,,,, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
一、 產(chǎn)品概述 采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。 該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償
2.2 流量范圍： DN3 30-300ml/min DN6 60-600ml/min DN8 80-800ml/min DN10 100-1000ml/min 注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言； (b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。 (c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大 (d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨(dú)標(biāo)定 2.3 流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS 三、 工作原理
式中：氣體流動(dòng)方向?yàn)?span style="color: red;">ｘ，速度為ｖ，ａ為擴(kuò)散率。 如上圖（式）所示，當(dāng)氣體流過芯片時(shí)，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計(jì)算流體的質(zhì)量流量。
1、產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號輸出一體，并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)、控制閥門。 2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計(jì)的微流量測量靈敏度顯著提升。 3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實(shí)現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。 4、單個(gè)芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計(jì)的量程范圍大大提高。 5、機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì)，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠。 6、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計(jì)的壓力損失達(dá)到最小化。 7、采用新的MF傳感技術(shù)，使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠。 8、零點(diǎn)自校功能，測量更準(zhǔn)確。 9、多種氣體實(shí)際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償。 10、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲，配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。 11、規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定。 12、精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。 13、的流量計(jì)報(bào)警功能，使監(jiān)控更可靠。 五、產(chǎn)品分類與命名
六、安裝與接線 7.1 安裝注意事項(xiàng)
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