*的功能
高品質(zhì)的圖像
通過改進電子光學(xué)系統(tǒng)，使圖像質(zhì)量更高，成像和分析更快。減少了充放電現(xiàn)象
新的掃描方式能抑制非導(dǎo)電性樣品的荷電效應(yīng)。低真空模式(LV)
低真空壓力范圍從10 Pa 至 650 Pa，拓寬了可以觀察的樣品材料的范圍。樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng)
全自動5 軸馬達驅(qū)動樣品臺提高了尋找感興趣的區(qū)域（ROI）的速度。使用導(dǎo)航系統(tǒng)（選配件）在彩色圖像上能迅速到達感興趣的區(qū)域。分析
在高電流模式下，束流電流可高達1 μA ( 加速電壓≥20 kV) 。
高性能的可變焦聚光鏡*限度地減少了因探針電流改變而引起的圖像和焦點漂移。
計算機控制的全對中樣品臺旋轉(zhuǎn) ，能很容易地對樣品或感興趣的區(qū)域定位。
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多功能
大型樣品室和樣品臺
能容納大型、較重的樣品，可裝載*尺寸為200 mm（φ）× 80 mm（ H）、重達2 kg 的樣品。幾何設(shè)計的分析接口
多個接口可以安裝EDS、EBSD 和WDS 等附件， EDS 和EBSD 處于同一平面，此外，還能安裝兩個相隔180 度的EDS 檢測器用于高通量的顯微分析。移動迅速的樣品臺
新開發(fā)馬達驅(qū)動樣品臺能快速地定位 ( 與其它JEOL 的產(chǎn)品相比快1.5 倍）。全自動5 軸馬達驅(qū)動樣品臺
采用了機械對中、五軸（X、 Y,、Z、T、R) 異步馬達控制的樣品臺，當(dāng)觀察厚樣品或當(dāng)感興趣區(qū)域(ROI) 不在傾斜軸的中心時，可利用標(biāo)配的計算機控制的全對中傾斜和旋轉(zhuǎn)校正功能。全新的真空系統(tǒng)
全新的真空系統(tǒng)縮短了樣品交換后抽真空的時間，使低真空模式下的信號更好。
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直觀的操作
觸摸屏界面
新設(shè)計和開發(fā)的圖形用戶界面（GUI）使操作更加舒適，還能支持觸摸屏操作。 用戶界面的大小可以調(diào)節(jié)，因此在分析或數(shù)據(jù)處理時，可以優(yōu)化工作空間。多用戶、多任務(wù)
多用戶登錄功能，可用于自定義工作區(qū)和樣品條件的設(shè)置。支持多語言
用戶界面語言可以在日語和英語間切換( 通過圖標(biāo)選擇)。
