特點

• Z 軸裝有數(shù)顯弧形標尺，可以提供更大的

測量范圍和更高的分辨率，從而不必再

依靠測量倍率。

•  可以應用數(shù)據(jù)分析系統(tǒng) ( 個人計算機和

FORMTRACEPAK 軟件 ) 。

技術(shù)參數(shù)

X1 軸

測量范圍 :  50mm  ( CV-1000 ) 或 100mm  ( CV-2000 )

分辨率 :  0.2μm

檢測方法 :

反射型線性編碼器

驅(qū)動速度 :  0.2, 1mm/s  外加手動

測量速度 :  0.2, 0.5mm/s

測量方向 :

向后

直線度 :  3.5μm / 50mm  ( CV-1000 ) ,

3.5μm / 100mm  ( CV-2000 )

* 以 X 軸為水平方向上

指示精度 :  ± ( 3.5+2L/100 ) μm

* L =  驅(qū)動長度 ( mm )

傾斜范圍 :

±45o

( CV-2000 )

Z2 軸 ( 立柱 ,  僅用于 CV-2000 )

立柱類型 :

電動 ( S4  型 ) 和手動 ( M4  型 )

垂直移動 :  250mm  ( S4  型 ) , 320mm  ( M4  型 )

驅(qū)動速度 :  1 - 5mm/s  外加手動

Z1 軸 ( 檢測器 )

測量范圍 :  25mm  ( CV-1000 ) 或 40mm  ( CV-2000 )

分辨率 :  0.4μm  ( CV-1000 ) 或 0.5μm  ( CV-2000 )

檢測方法 :

弧形編碼器

指示精度 :  ± ( 3.5+I4HI/25 ) μm

( 20oC 時 ) *H 為水平位置上的測量高度 ( mm )

測針上／下運作 : 弧形運動

測針方向 :

向下

測力 :  10 - 30mN

跟蹤角度 :

向上 : 77o,  向下 : 87o

( 根據(jù)表面粗糙度，使用標準單切面測針 )

測針針尖 半徑 : 25 μ m,  硬質(zhì)合金針尖

基座尺寸 ( W x H ) :  650 x 450mm  ( CV-2000 )

基座材料 :  花崗巖 ( CV-2000 )

重量 :  5kg  ( CV-1000N2 )

115.8kg  ( CV-2000M4 )

130.3kg  ( CV-2000S4 )

電源 :  100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz