美國(guó)實(shí)驗(yàn)室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)
簡(jiǎn)述：使用新型的172nm 的波長(zhǎng)。不需要傳統(tǒng)的光刻膠，對(duì)幾乎任何的有機(jī)聚合物材料都可以光刻。不需要傳統(tǒng)的涂膠、烘烤、曝光、顯影、清洗等的流程和時(shí)間。高分辨率、高強(qiáng)度、高效率、低成本。在實(shí)驗(yàn)室就可以實(shí)現(xiàn)光刻，而無(wú)需到半導(dǎo)體工廠，使用大型和昂貴的刻蝕機(jī)。操作簡(jiǎn)單，幾乎無(wú)需培訓(xùn)。
美國(guó)實(shí)驗(yàn)室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)特點(diǎn)：
•新一代紫外波長(zhǎng)：172 nm
•光源技術(shù)：平面微腔陣列發(fā)光
•同類的輸出強(qiáng)度: >10mW/cm2
•無(wú)需光刻膠，可對(duì)幾乎所有有機(jī)聚合物直接曝光
•無(wú)需超凈間，無(wú)需預(yù)熱，無(wú)需冷卻，無(wú)需復(fù)雜培訓(xùn)，幾乎"零"維護(hù)
•杰出的光束均勻度：可用光圈的3％
•壽命長(zhǎng)：3000小時(shí)曝光，曝光高達(dá)60,000次(3分鐘/次), 使用可達(dá)10年
•綠色技術(shù)：無(wú)汞等有毒易燃?xì)怏w和物質(zhì)； 高電-光轉(zhuǎn)換率，節(jié)能省電；
•小巧，方便，耐用高功率平面真空-紫外線在光處理中展現(xiàn)了新的可能性
高功率平面真空-紫外線在光處理中展現(xiàn)新的可能性
革命性的采用全新的燈泡，具有高功率，出色的均勻性和多功能性，效率高并且設(shè)計(jì)緊湊，采用模塊化形式！ 在172 nm創(chuàng)造性的引入π2 -CYGNI系列真空紫外線處理系統(tǒng)。
172納米 全新光處理體系
傳統(tǒng)172 nm光源的低輸出功率阻礙了該波長(zhǎng)在研究和生產(chǎn)中的廣泛應(yīng)用。 π2-CYGNI 克服了這一障礙，并展示了172 nm的真正實(shí)力- 全新化學(xué)驅(qū)動(dòng)，反應(yīng)方式和處理技術(shù)。 紫外線不僅僅用于光刻和固化！
全新功率驅(qū)動(dòng)
紫外線弧光燈能提供高平均功率， 準(zhǔn)分子紫外線源提供高光子通量。 π2-CYGNI 提供高平均功率和高光子通量- 無(wú)需有源或外部冷卻。 把高功率和高光子通量這種*組合，封裝在手掌大的盒子中，實(shí)現(xiàn)其他光源無(wú)法完成的大面積反應(yīng)和處理。
全新弧光技術(shù)
每套 π2-CYGNI系統(tǒng)的核心是它超薄的（< 4 mm）平面微腔放電燈。 與傳統(tǒng)的弧光放電燈相比，這種廣域照射產(chǎn)生了的均勻性，同時(shí)又消除了對(duì)復(fù)雜聚光，準(zhǔn)直和均化等光學(xué)器件的要求。
綠色環(huán)保的紫外線(UV)
在π2-CYGNI系統(tǒng)之前，產(chǎn)生紫外線通常意味著產(chǎn)生有毒物質(zhì)，低轉(zhuǎn)換率和高設(shè)備成本。 π2-CYGNI 通過(guò)環(huán)保且節(jié)能的解決方案突破這些障礙。 π2-CYGNI 的制造和使用過(guò)程不使用有毒材料，在生產(chǎn)中使用π-CYGNI 可以減少化學(xué)材料和水的消耗。 有效的降低使用成本，僅是使用其他172 nm光源成本的一小部分。
美國(guó)實(shí)驗(yàn)室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)參數(shù)：
