日本科賦樂(lè)微小流量質(zhì)量流量計(jì)
日本KOFLOC
3100系列質(zhì)量流量計(jì)-微小流量
應(yīng)用于多個(gè)OEM設(shè)備場(chǎng)合,尤其適合微小流量測(cè)量
適用于燃?xì)獾蛪毫?、泄漏測(cè)試的低流量、半導(dǎo)體等使用
±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號(hào)更加通用
可定制0.02-1SCCM微小流量
日本科賦樂(lè)微小流量質(zhì)量流量計(jì)
量程(N2) | 1SCCM-20SLPM、小0.02-1SCCM |
精度 | ±1.0%FS |
重復(fù)性 | ±0.2%FS |
響應(yīng)時(shí)間 | 1秒以內(nèi) |
耐壓 | 1.0Mpa |
進(jìn)口大壓力 | O.5Mpa |
泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 |
溫度范圍 | 5-45℃ |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) |
材質(zhì) | 本體SUS316L |
密封圈NBR、PTFE、FKM等 | |
電氣接口 | DB9 |
模擬信號(hào) | 0-5V輸出 |
供電 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA; |
管路連接 | 標(biāo)配1/4F9 |
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
重量 | 約800g |