主要特點(diǎn):
日立研發(fā)的全自動(dòng)STEM球差校正器
高穩(wěn)定、高亮度的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍
TEM、STEM、SEM三位一體
大面積、大固體角的無(wú)窗能譜儀
全新設(shè)計(jì)的鏡筒和高壓系統(tǒng)
全新設(shè)計(jì)的保護(hù)罩和熒光屏相機(jī)
高穩(wěn)定性側(cè)插樣品桿
兼容日立的特殊樣品桿和FIB系統(tǒng) 項(xiàng)目 主要參數(shù) 電子槍 冷場(chǎng)發(fā)射電子槍 加速電壓 60-200kV TEM點(diǎn)分辨率 0.23nm HAADF-STEM分辨率 0.078nm 能譜 無(wú)窗SDD能譜,2 x 100mm2,固體角2.0 Sr 電子能量損失譜 Gatan GIF Quantum or Enfinium spectrometer 圖像模式 TEM明場(chǎng)像、BF-STEM明場(chǎng)像、ABF-STEM環(huán)形暗場(chǎng)像、HAADF-STEM高角度環(huán)形暗場(chǎng)像、二次電子像、電子衍射花樣、特征X射線(xiàn)像(可選)、EELS像(可選)
應(yīng)用領(lǐng)域:
HF5000作為一款球差校正冷場(chǎng)發(fā)射透射電鏡,其分辨率達(dá)到了亞埃級(jí),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的超細(xì)微觀(guān)結(jié)構(gòu)的觀(guān)察和分析,適用于金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、納米材料等的觀(guān)察。同時(shí),HF5000*的TEM、STEM、SEM三位一體功能不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的研究,也可以獲得材料表面的信息。原子級(jí)分辨率的二次電子探測(cè)器可以彌補(bǔ)TEM和STEM無(wú)法觀(guān)察樣品表面的缺陷,同時(shí)相比普通的SEM又具有更高的分辨率,可以滿(mǎn)足樣品表面高分辨形貌和結(jié)構(gòu)觀(guān)察的需求,與TEM和STEM形成互補(bǔ)。全自動(dòng)化的球差校正過(guò)程又大大簡(jiǎn)化了球差校正透射電鏡的使用難度,提高了觀(guān)察效率,尤其適合測(cè)試平臺(tái)和科研中心等用戶(hù)。