PLD-DGCS多組分動(dòng)態(tài)配氣儀采用質(zhì)量流量混合法,可用于多路氣體(多可達(dá)8路)的混合、稀釋等獲得目標(biāo)混合氣。
系統(tǒng)設(shè)有簡(jiǎn)易控制和時(shí)序控制兩種模式,可直接在觸控屏上選擇不同的工作模式,在時(shí)序控制模式下,出氣口可在數(shù)秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)氣體成分的轉(zhuǎn)換。
采用雙出氣口設(shè)置,通過電磁閥切換至不同出氣口,實(shí)現(xiàn)兩路目標(biāo)混合氣體的同時(shí)輸出,且具有氣體溫壓監(jiān)測(cè)能力,輸出壓力可達(dá)0.4 MPa。
關(guān)鍵特征
●一機(jī)兩用,動(dòng)態(tài)配氣,雙路輸出;
●功能靈活,標(biāo)準(zhǔn)、時(shí)序控制雙模式;
●觸屏控制,操作簡(jiǎn)單,使用方便;
●秒級(jí)響應(yīng),MFC配氣可靠精度高;
●擴(kuò)展性強(qiáng),多可輸入8路氣體;
●一鍵配氣,全自動(dòng)化、程控停止
應(yīng)用領(lǐng)域 ▲特別適用 ●較為適用 ○可以使用
▲實(shí)驗(yàn)體系氣氛控制