單晶硅壓力傳感器型號(hào)
產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 雙膜片過載結(jié)構(gòu)
■ 高精度，穩(wěn)定性±0.05%F.S./年
■ 可選多種隔離膜片材質(zhì)，滿足防腐要求
單晶硅壓力傳感器型號(hào)
技術(shù)參數(shù)
供 電: 恒壓（3VDC-5VDC）
滿點(diǎn)輸出電壓：≥100mV@3.3VDC供電
零點(diǎn)溫度影響：±0.05%F.S./℃
溫度滯后: ＜±0.1% F.S. （10kPa ≤敏感元件量程 ≤1MPa）
＜±0.5% F.S. （敏感元件量程<10kPa）
壓力滯后: ＜±0.05% F.S.
*漂移: ＜±0.05% F.S./年
非線性誤差：＜±0.3% F.S. （10kPa ≤敏感元件量程 ≤1MPa）
＜±1.3% F.S. （敏感元件量程 ≤10kPa）
靜壓影響:＜±0.1% F.S. /10MPa（10kPa ≤敏感元件量程 ≤1MPa）
＜±0.15% F.S. /10MPa（敏感元件量程 ≤10kPa）
膜片材質(zhì): 316L/ 哈氏合金 C
接線盒連接：M27X2外螺紋
過程連接：H型結(jié)構(gòu)，雙法蘭，過程連接內(nèi)螺紋1/4-18NPT，法蘭后端自帶排液排氣閥，316不銹鋼
使用環(huán)境：
環(huán)境溫度： (-20~70)℃
溫度補(bǔ)償： (0~50)℃
相對(duì)濕度： <95%
大氣壓力： (86~106)kPa
存儲(chǔ)溫度： (-40~85)℃
工作原理
傳感器模塊采用全焊接技術(shù)，內(nèi)部擁有一個(gè)整體化的過載膜片，一個(gè)壓力傳感器和一個(gè)溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補(bǔ)償?shù)膮⒖贾?。壓力傳感器的正壓?cè)與傳感器膜盒的高壓腔相連，傳感器的負(fù)壓側(cè)與傳感器膜盒的低壓腔相連，壓力通過隔離膜片和填充液，傳遞給傳感器內(nèi)的硅芯片，使壓力傳感器的芯片的阻值發(fā)生變化，從而導(dǎo)致檢測(cè)系統(tǒng)輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比，再由適配單元和放大器轉(zhuǎn)化成一標(biāo)準(zhǔn)化信號(hào)輸出。
