半導(dǎo)體行業(yè)的*超聲波流量計(jì)
潔凈室環(huán)境中的高優(yōu)先事項(xiàng)之一是避免溶解的金屬對流動介質(zhì)(例如超純水或去離子水,清潔劑,溶劑以及酸和腐蝕性)的潛在污染。
因此,F(xiàn)LEXIM開發(fā)了一種*超聲儀,非常適合于以下應(yīng)用:
FLUXUS半導(dǎo)體的設(shè)計(jì)和制造不含任何金屬組件。此外,由于將其安裝在彈性管或彈性管的外部,因此不會侵入,不會直接與介質(zhì)接觸,因此永遠(yuǎn)不會有任何泄漏或污染的可能性。此外,無需進(jìn)行昂貴的安裝過程停機(jī),并且系統(tǒng)本身幾乎無需維護(hù)。
可靠性和準(zhǔn)確性是FLEXIM的基石之一。即使安裝在彈性管上,F(xiàn)LUXUS半導(dǎo)體也不例外。特殊的夾具可確保穩(wěn)定耐用的安裝,多年來可提供的精度。
因此,F(xiàn)LUXUS半導(dǎo)體通過精確,可靠和安全地監(jiān)控任何流動介質(zhì)的消耗和流速,即使在每小時低至幾升的極低流速下,也是潔凈室環(huán)境中經(jīng)濟(jì)運(yùn)行的理想流量計(jì)。
優(yōu)點(diǎn)
1,外夾式流量測量,測量精度高,適合固定使用
2,傳感器安裝夾具和傳感器不含金屬
3,適用于管徑為 3/8”、1/2”、3/4”、1”、1 1/4”、1 1/3”、1 1/2”的塑料管 和和撓性管(其他視應(yīng)用而定)
4,即使在低流速下確保高精度測量
5,在過程運(yùn)行中可進(jìn)行安裝和調(diào)試,無需停車
6,傳感器固定在管道外側(cè),因此沒有污染或泄漏的風(fēng)險
7,用戶友好的菜單界面固件特別適合于半導(dǎo)體行業(yè)的需求
1,外夾式流量測量,測量精度高,適合固定使用
2,傳感器安裝夾具和傳感器不含金屬
3,適用于管徑為 3/8”、1/2”、3/4”、1”、1 1/4”、1 1/3”、1 1/2”的塑料管 和和撓性管(其他視應(yīng)用而定)
4,即使在低流速下確保高精度測量
5,在過程運(yùn)行中可進(jìn)行安裝和調(diào)試,無需停車
6,傳感器固定在管道外側(cè),因此沒有污染或泄漏的風(fēng)險
7,用戶友好的菜單界面固件特別適合于半導(dǎo)體行業(yè)的需求
應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)的流量測量
高腐蝕性物質(zhì),如酸或堿
清潔劑
溶劑
超純流體
技術(shù)參數(shù)
精度
±1.5 % v. MW ±0.01 m/s
重復(fù)性
0.25 % 讀數(shù),視應(yīng)用而定
流速范圍
0.01...25 m/s
防區(qū)主機(jī)
only safe area
供電電源
100...230V/50-60Hz或
20...32V DC 或
11...16 V DC
可用傳感器
剪切波
對于防爆區(qū)
無
適用于管道尺寸范圍
8mm ... 51mm,請參考尺寸圖
適用于溫度范圍
-20°C .... 100°C
輸出
1x 4-20mA active
2x pulse/binary輸入
---
數(shù)字通信
Modbus RTU
BACnet MS/TP
M-Bus
360° view
對于手動360°視圖,向左或向右拉動圖像
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