PG15-J激光平面干涉儀
主要技術(shù)參數(shù):
1、較優(yōu)秀標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),不鍍膜。 工作直徑:D1=Φ146mm,
不平度小于0.02μm(λ/30)。
2、第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),不鍍膜。 工作直徑:D2=Φ140mm
不平度小于0.03μm(λ/20)。
3、準(zhǔn)直系統(tǒng):孔徑F/2.8, 工作直徑:D1=Φ146mm,
焦距:f=400mm
4、測微目鏡:焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X,視場角2w=40o,
成像物鏡:I、D=4.5;П、D=7;Ш、D=10,f=16,f=23,f=37
5、干涉室尺寸:深260*寬300*190mm。
6、光源規(guī)格:激光ZN18(He-Ne)。
7、儀器的外形尺寸:長*寬*高 350*400*720mm。
8、儀器重量:100公斤。
原舊站參數(shù)地址:/cp/pg15-jjiguangpingmiangansheyi.htm