天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國Cyber Technologies厚度測量儀-CT系列
產(chǎn)品型號:CT 350T
德國Cyber Technologies厚度測量儀-CT系列
關(guān)鍵字描述:運動系統(tǒng)使用快速,準(zhǔn)確的磁性直線電機。通過以4 kHz的數(shù)據(jù)速率觸發(fā)彩色白光傳感器,可以將檢查時間更小化。
產(chǎn)品介紹:
快速準(zhǔn)確的雙面掃描系統(tǒng)
測量速度:2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移動300 mm(200 mm),橫向分辨率為50 nm,電動z軸分辨率為20 nm
2D輪廓,3D地形圖和3D厚度圖
掃描范圍大
x,y,z分辨率,行程為max.300 mm(200 mm)
零件厚度max.80 mm
彩色白光傳感器
高分辨率離軸相機
CT 350T是一款非接觸式雙面光學(xué)輪廓儀,具有300毫米x,y掃描臺。頂部和底部傳感器安裝在行程為100 mm的高精度Z軸上。雙面自動對焦功能甚至可以測量嚴(yán)重彎曲或彎曲的零件。兩個傳感器均收集與x,y編碼器信號同步的高度數(shù)據(jù),并軸向?qū)R以確保精確的差分厚度測量。該軟件同時從頂部和底部表面生成2D輪廓和3D貼圖,并計算相應(yīng)的總厚度輪廓或貼圖。
運動系統(tǒng)使用快速,準(zhǔn)確的磁性直線電機。通過以4 kHz的數(shù)據(jù)速率觸發(fā)彩色白光傳感器,可以將檢查時間更小化。通過在平臺孔上安裝轉(zhuǎn)接板,該系統(tǒng)可以用作標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)表面輪廓儀,使CT 350T成為功能廣泛的表面和厚度測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)也有較小的版本,如CT 250T,具有200 mm的行程,非常適合8英寸晶圓或基板和太陽能晶圓。
參數(shù):
集成系統(tǒng)控制器:包括運動控制,傳感器控制器(4 kHz),電源,工作站的USB接口
工作站電腦:查詢當(dāng)前規(guī)格,22英寸寬屏顯示器
連接方式:以太網(wǎng),DVD驅(qū)動器,USB(正面和背面),并行端口,鍵盤,鼠標(biāo),DVI和模擬視頻輸出
電源要求:100-240 V AC,50-60 Hz,2.0 A(240 V),5 A(100 V)
測量表面尺寸:300 x 300 [mm](12 x 12 [in])
線性編碼器分辨率
X,Y:50 nm(2μin)
Z:5 nm(0.2 µin)
橫向分辨率:1微米(載物臺分辨率:50 nm)
X和Y的行程限制(電動):350 x 300 [mm](13.8 x 12 [in])
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