一、任氏巨源微波等離子體化學氣相沉積爐應用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強范圍寬、無內(nèi)部電極污染等特點，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學氣相沉積、刻蝕以及CH4轉(zhuǎn)化制氫、長余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域有廣泛應用。
二、產(chǎn)品特點：
1. 垂直反應器的設(shè)計可使等離子密度高；對稱的微波發(fā)生裝置，使產(chǎn)生的等離子場環(huán)境更均勻。
2. 微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內(nèi)沒有內(nèi)部電極,可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染,而且,它的工作氣壓范圍比較寬,所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。
三、任氏巨源微波等離子體化學氣相沉積爐技術(shù)參數(shù)：
型號/model | WBMW-DLZ3 |
可加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 |
微波頻率 | 2.45GHZ±50MHz |
加熱方式 | 純微波加熱 |
射頻功率/KW | 3 (功率可調(diào)) |
工作溫度/℃ | 1200 |
*工作溫度/℃ | ≤1100 |
溫度測試元件 | 微波場傳感器/紅外測溫可選 |
控溫精度/℃ | ±2（微波場傳感器） |
石英管尺寸(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm | φ102/φ92x1000 |
真空系統(tǒng)配置（可選） | 簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭； 10-1Pa真空機械泵及真空計； 10-2Pa真空機械泵、擴散泵及真空計； 10-3Pa真空機械泵、分子泵及真空計； |
升溫速率(標配) | 0～1000℃/min可任意設(shè)定，可編程、分段加熱 |
外型尺寸(長x寬x高)/mm | 1000´750´1830 |
微波泄漏量/ mw/cm2 | ≤0.4 |
提供相關(guān)配件 | 防護 手套×1、中文說明書×1 |
保質(zhì)期 | 整機免費保修1年 |
