天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國ATL Lasertechnik準分子激光器-ATLEX-500-I
產(chǎn)品型號:ATLEX-500-I
關(guān)鍵字:ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I
德國ATL Lasertechnik準分子激光器-ATLEX-500-I
關(guān)鍵字描述:ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源,專為中低占空比應(yīng)用而設(shè)計。
產(chǎn)品介紹:
軟電暈預(yù)電離
高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器
激光頭體積<3l
TMC(全金屬陶瓷)容器
集成真空泵和鹵素過濾器
風冷/可選液冷,主動熱管理
RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統(tǒng)集成
可沖洗光學支架
能量穩(wěn)定模式
新一代緊湊型風冷,高重復(fù)頻率的準分子激光器,專為中低占空比應(yīng)用而設(shè)計。
參數(shù):
氣體介質(zhì) F2 ArF KrF XeCl XeF
波長 nm 157 193 248 308 351
高壓開關(guān)技術(shù) 固態(tài)開關(guān)
重復(fù)率max. Hz 1 10 15 8 7
脈沖能量max. mJ 0.5 4.0 6.5 3.0 2.5
平均功率max. W 500
脈沖持續(xù)時間 ns 5-8
光束尺寸(V x H) mm 4 x 6
光束發(fā)散角(V x H)mrad 1 x 2
能量穩(wěn)定性(標準偏差)% < 3
尺寸(長x寬x高)mm 540 x 470 x 370
重量 kg 60
冷卻 冷卻空氣/可選液體
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