ENERGETIQ 激光驅(qū)動寬帶光源EQ-99X
Energetiq光源是一款高亮度，高穩(wěn)定、長壽命寬光譜光源，采用革命性的光源技術(shù)——LDLS™激光驅(qū)動光源技術(shù)，使用高功率連續(xù)激光直接聚焦氙燈內(nèi)的氙離子加熱至非常高的的溫度，從而發(fā)出高效的寬頻譜光。具有高可靠性，高性能，高亮度，長壽命，紫外功率高等特點(diǎn)。其產(chǎn)品具有很寬的光譜范圍，譜線包括深紫外線（DUV）, 并覆蓋從可見光到近紅外光區(qū)（NIR），波長范圍從 170nm到2100nm 以上。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
長壽命：10000小時(shí)7*24
高亮度：普通氙燈30倍以上
全光譜：可取代氘燈，鹵素?zé)?，氙?/p>
光斑穩(wěn)定性高
非常好的短期*功率穩(wěn)定性
應(yīng)用：
紫外可見光譜，顯微照明
材料表征
光學(xué)元件測量
環(huán)境，氣象監(jiān)測
EQ-99X EQ-99XFC
EQ-77 EQ-400
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品型號 | EQ-99X | EQ-99XFC | EQ-77 | EQ-400 |
波長范圍 | 170-2100nm | 190-2100nm | 170-2100nm | 170-2100nm |
輸出功率 | 0.5W | 高達(dá)0.3W | 1.5W | 10W |
數(shù)值孔徑 | Up to 0.47 | 0.22 | Up to 0.5 | Up to 0.5 |
光源壽命 | 約10000 hrs | 約10000 hrs | 約10000 hrs | 約10000 hrs |
同步輸出 | 自由空間 | 光纖耦合 | 自由空間 | 自由空間 |
光源重量 | 0.7kg | 0.7kg | 2.5kg | 2kg |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 水冷 |
光源尺寸 | 82.3*85.7*76.2mm | 82.3*85.7*76.2mm | 160*142*218mm | 170*130*80mm |
目前LDLS激光驅(qū)動白光光源已廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)生產(chǎn)，超過2000臺光源出貨，中國大部分高校和部分半導(dǎo)體檢測廠家均在使用該光源且反饋良好！
LDLS™激光驅(qū)動光源技術(shù)介紹
目前，我們在光譜學(xué)、測量等領(lǐng)域?qū)捁庾V光源主要集中與鹵素?zé)簦療?，具有低成本、寬光譜、產(chǎn)量大等優(yōu)點(diǎn)。但是壽命短，光斑點(diǎn)大，光譜不夠平滑，亮度不夠高等特點(diǎn)仍然在很多應(yīng)用上有許多的限制。隨著全新的激光驅(qū)動白光光源LDLS技術(shù)的興起，*的提高了白光光源的應(yīng)用范圍和實(shí)用能力。
激光驅(qū)動白光光源原理示意圖
LDLS首先通過氙燈的高壓電極點(diǎn)亮氙燈，高能量1μm連續(xù)激光經(jīng)過聚焦后在氙燈上，然后關(guān)閉氙燈高電壓，聚焦的激光維持高亮度等離子體發(fā)光，對于EQ-99X和EQ-99XFC等離子體光斑大小約70*140微米，易于聚焦/耦合等光路處理。
產(chǎn)品技術(shù)優(yōu)勢：
1. 寬光譜，高亮度：LDLS激光驅(qū)動白光光源具有很寬的光譜表現(xiàn)，從深紫外-可見光-近紅外全覆蓋，在170-2100nm均有*的亮度表現(xiàn)
由下圖我們可以看出EQ-99光源亮度在紫外區(qū)域是75W氙燈的10倍，可見光區(qū)域也是數(shù)倍；對于30W的氘燈亮度更是100倍以上。
2. 長壽命：LDLS激光驅(qū)動光源在工作10000小時(shí)后仍具有90%輸出功率，而氙燈下降到50%只需要2000小時(shí)，氘燈只需要1000小時(shí)，*地節(jié)約換燈，中斷實(shí)驗(yàn)/產(chǎn)品線調(diào)試等運(yùn)行成本，另外LDLS還也可以在24*7條件下持續(xù)工作。
3. 光斑極?。?/strong>下面三幅分別為氙燈，LDLS激光驅(qū)動白光光源的等離子發(fā)光體圖。經(jīng)過測試氙燈尺寸大于2mm*2mm，EQ-77約為150*300μm，EQ-99約為70*145μm。極小的等離子體光斑帶來非常高亮度。易于聚焦于光譜儀/分光儀，光路搭建，在使用200μm以下狹縫時(shí)具有非常高的*性，進(jìn)入的能量比普通光源能高達(dá)10-100倍；另外耦合于光纖中具有非常好的效果，EQ-99XFC使用200μm光纖可以輸出50mW的光，而普通氙燈鹵素?zé)魩缀鹾茈y耦合。
氙燈（左）和LDLS（右）等離子體實(shí)物圖
4. 等離子體位置/功率非常穩(wěn)定：下圖為等離子體中心位置監(jiān)測圖，在200Hz頻率下共2500個(gè)監(jiān)測點(diǎn)，平均縱向不穩(wěn)定度為0.094μm，橫向不穩(wěn)定度為0.145μm，具備了*的光斑位置穩(wěn)定性，從而保證了測量過程和結(jié)果的穩(wěn)定性。1000個(gè)積分時(shí)間為8ms共8s強(qiáng)度測量，平均強(qiáng)度不穩(wěn)定性為0.25%，峰峰值不穩(wěn)定性為0.55%。
等離子體中心位置 強(qiáng)度不穩(wěn)定性測量
ENERGETIQ 激光驅(qū)動寬帶光源EQ-99X
上海屹持光電技術(shù)有限公司
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