小口徑熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無需溫度壓力補(bǔ)償；主要用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制，能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。
小口徑熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù)：
·口徑：DN3、DN6、DN8、DN10
·DN3流量范圍：50、100、300、500、1000sccm
·DN6—DN10流量范圍：1、2、5、10、20、30、40、50SLM
流量測(cè)量準(zhǔn)確度：±1.5%FS，2.5%FS.
·測(cè)量介質(zhì)溫度：0~50℃;
·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa．1.0MPa
·供電電源：24VDC±10%;
·輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；
·環(huán)境溫度：0～55℃;
·可帶兩點(diǎn)報(bào)警；
·流量顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位；
·提供軟件進(jìn)行20臺(tái)以內(nèi)流量計(jì)集中控制、修改參數(shù)。
