HVA 三位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕、 CVD、真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè)。HVA 三位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時，提供異常壓力控制功能，該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡。HVA 三位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式：一個電磁閥控制閥門的*關(guān)閉和*開啟，另一個電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置。
上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)總代理商。
HVA 三位真空閘閥 真空插板閥 21700 系列 產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
1. 機(jī)械預(yù)設(shè)、遙控過渡閥位
2. 三個位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 三位真空閘閥 真空插板閥 21700 系列 技術(shù)參數(shù)：
閥門材質(zhì)： | |
閥門主體 | 304不銹鋼 |
焊接波紋管軸封 | AM-350 |
驅(qū)動軸和驅(qū)動銷 | 硬質(zhì)不繡鋼 |
閥門密封方式： | |
高真空 | 氟橡膠 |
漏率 | <2×10-9 mbar l/s |
差壓關(guān)閉 | 1 bar |
真空： | |
壓力范圍 | 高真空1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差壓關(guān)閉 | 1 bar (任意位置) |
開啟前大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）： | |
閥門主體 | 150 °c |
驅(qū)動方式 | 氣動 60 °c |
使用壽命：100,000啟閉次數(shù) | |
公稱通徑：DN100-320 mm | |
