一、儀器整機(jī)主要性能參數(shù)：

1、波長范圍：180-800nm（2400刻線/mm）或180-500nm（3600刻線/mm）

2、分辨率：在180-500nm整個(gè)波段內(nèi)分辨率≤0.006nm

3、波長示值誤差和重復(fù)性：波長示值誤差≤0.02nm，重復(fù)性≤0.003nm

4、掃描步距：可達(dá)0.0004nm

5、精密度：RSD≤1.5%

6、穩(wěn)定性：RSD≤2.0%

7、檢出限：PPb級

8、分析元素范圍：可對72種金屬元素和部分非金屬元素（如B、P、Si、Se、Te）進(jìn)行定量和定性分析

9、線性范圍：7個(gè)數(shù)量級以上。

10、分析速度：每分鐘掃描20個(gè)元素以上

11、等級證書：國家計(jì)量器具形式許可A級

二、儀器各部件詳細(xì)參數(shù)：

全自動(dòng)等離子體發(fā)射光譜儀射頻發(fā)生器（RF）

（1）電路類型：電感反饋?zhàn)约な秸袷庪娐?、同軸電纜輸出、匹配調(diào)諧、取功率反饋信號，進(jìn)行閉環(huán)自動(dòng)控制

（2）工作頻率：40.68MHz ± 0.05%

（3）頻率穩(wěn)定性：≤0.05%

（4）輸出功率：800—1500W，自動(dòng)調(diào)整

（5）輸出功率穩(wěn)定性：≤0.3%

（6）電磁場泄漏射強(qiáng)度：距機(jī)身20cm 處，電場強(qiáng)度E：＜2 V / m

全自動(dòng)等離子體發(fā)射光譜儀進(jìn)樣裝置

（1）輸出工作線圈：內(nèi)徑25mm 、3匝

（2）炬管：三同心型，外徑20mm的石英炬管

（3）同軸型噴霧器：外徑6mm

（4）雙筒型霧室：外徑34mm 

（5）觀測位置：縱向觀察高低和橫向觀察前后，可通過軟件直觀地調(diào)為*

（6）氬氣流量計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格：

1、等離子氣流量計(jì)：(100－1000)L/h    (1.6－16L/min)

2、輔助氣流量計(jì)：(10－100)L/h      (0.16－1.66L/min)

3、載氣流量計(jì)：(10－100)L/h      (0.16－1.66L/min)

4、載氣穩(wěn)壓閥：(0－0.4Mpa)L/h

5、冷卻水：水溫：21－26℃ 流量＞5L/min 水壓＞0.1Mpa 冷卻水：電阻率＞1MΩ

分光器

（1）光路：Czerny－Turner

（2）焦距：1000mm

（3）光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵；刻線密度3600線/mm，刻線面積：80×110mm

     (或刻線密度2400線/mm，刻線面積：80×110mm)

（4）線色散率倒數(shù)：0.26nm/mm

（5）分辨率：≤0.007nm（整個(gè)波段）

（6）掃描波長范圍： 180-500nm，3600刻線/mm；

                    180-800nm，2400刻線/mm

（7）掃描步距：0.0004nm

（8）出射、入射狹縫：20μm×25μm

（9）反射鏡規(guī)格：（78×105×16）mm

（10）透鏡：φ30，1:1成像

（11）反射鏡規(guī)格：凹型

（12）分光器恒溫裝置：34℃±0.5℃

測光裝置

（1）光電倍增管規(guī)格：日本高效R212UH或R928

（2）光電倍增管負(fù)高壓：200-1000V，自動(dòng)調(diào)節(jié)，穩(wěn)定性＜0.01%

（3）光電倍增管電流測量范圍：10^-4~10^-9A

（4）信號采集為V/F交換：1mV對應(yīng)100Hz

（5）采樣電路：使用國外高精密度運(yùn)算放大器，使儀器的靈敏度和精確度大大提高

（6）儀器數(shù)據(jù)采集：通過串口與電腦連接，從而簡化了電路使連接更加便捷

（7）測光方式：單、多元素順序測量

操作軟件：

（1）操作系統(tǒng)：Windows XP 或者Windows 7操作平臺

（2）測定波長數(shù)：任意選擇

（3）分析速度：每分鐘20個(gè)元素以上

（4）數(shù)據(jù)庫：譜線庫11萬條以上

（5）多窗口：在測量完一次結(jié)果后可以在顯示窗口保留上次結(jié)果同時(shí)、測量下一樣品；

（6）標(biāo)準(zhǔn)加入法：軟件要有標(biāo)準(zhǔn)加入法，以便在不同條件和應(yīng)用中下使用

（7）分析模式：軟件默認(rèn)*分析模式，擁有儀器診斷、譜圖分析及幾種測量方式和幾種積分模式，                 單位任選等多種功能

（8）歷史數(shù)據(jù)庫：在歷史數(shù)據(jù)庫中，可以同時(shí)可選擇性地打印想要打印的批次分析結(jié)果或者轉(zhuǎn)換成   Exce

（9）數(shù)據(jù)輸出：軟件支持激光打印機(jī)打印分析結(jié)果