SLM 266激光器 |
SLM 266系統(tǒng)是一種單頻全固態(tài)激光器,應用于深紫外領域,如晶圓表面檢測、光譜儀校準和全息應用。頻譜帶寬<80MHz,接近其理論的傅里葉極限。該激光器提供8-10ns的短脈沖,其衍射極限光束下M2<1.7,重復頻率1到15kHz。在波長為266nm下平均功率高達500mW以上, 并且擁有超穩(wěn)定的脈沖痕跡和與傳統(tǒng)激光器相比的1.8m的相干長度。由于CW模式的單頻種子源,連續(xù)的激光脈沖保持在同一相位,允許穩(wěn)定的干涉模式,所以可以應用到直接曝光光刻上。另外500 mW的平均功率允許短的曝光時間,實現(xiàn)大的吞吐量。 特點: ● 單縱模 ● TEM00光束 ● Q開關全固態(tài)激光器 ● 波長266 nm 應用: ○ 晶圓表面檢測 ○ 光譜儀校準 ○ 光刻 ○ 光致發(fā)光 ○ 全息成像 ○ 干涉測量 ○ 拉曼光譜 ○ 度量衡學 可選項: ○ 圖形用戶界面 ○ Labview庫文件 ○ CDRH符合性快門 典型參數(shù)&光斑輪廓 激光頭尺寸: 系統(tǒng)尺寸: 電學參數(shù): |