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瑞士 SUSS MicroOptics微透鏡陣列-18-系列
關鍵字描述:SUSS MicroOptics通過使用反應離子刻蝕(RIE)將所需的結構轉移到基板上,從而在硅片和熔融二氧化硅中以晶圓級制造定制的單片微光學器件。
產(chǎn)品介紹:
SUSS MicroOptics通過使用反應離子刻蝕(RIE)將所需的結構轉移到基板上,從而在硅片和熔融二氧化硅中以晶圓級制造定制的單片微光學器件。該技術可提供高分辨率和均勻性,并能夠合并復雜的形式,例如溝槽,空腔,基座,對準點和識別標記。組件可以鍍AR和/或金屬化,并以多種格式交付。
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