天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷PIEZOSYSTEM JENA壓電定位器PXY系列
PIEZOSYSTEM JENA壓電定位器PXY系列
關(guān)鍵字描述:構(gòu)造原理得到非常高的分辨率,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了機(jī)械和機(jī)電定位系統(tǒng)的分辨率。
產(chǎn)品介紹:
準(zhǔn)確的平行運(yùn)動(dòng)
Max.200µm的運(yùn)動(dòng)范圍
無機(jī)械間隙
容易與其他壓電系統(tǒng)結(jié)合
精密銷孔,可準(zhǔn)確調(diào)節(jié)
高動(dòng)態(tài)范圍
可用于光纖定位、二維掃描系統(tǒng)、光束對(duì)準(zhǔn)、半導(dǎo)體、微操作
平行四邊形構(gòu)造的固態(tài)鉸鏈提供平行運(yùn)動(dòng),而在x和y方向上沒有機(jī)械間隙。這些構(gòu)造原理得到非常高的分辨率,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了機(jī)械和機(jī)電定位系統(tǒng)的分辨率。
參數(shù):
軸:X,Y
開環(huán)運(yùn)動(dòng)(±10%)/閉環(huán)運(yùn)動(dòng)(±0.2%):200 /-µm
每軸電容(±20%):5.2µF
分辨率(開/閉環(huán)):0.4 /- nm
諧振頻率x / y(空載):350/350 Hz
推/拉力
X軸:max. 130/13 N
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