• LEGEX系列為超高精度CNC三坐標(biāo)測量機(jī),具有世界上精度水平,對所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并消除或地降低其影響。超高精度CNC三坐標(biāo)測量機(jī)LEGEX12128
• 固定橋結(jié)構(gòu)和精密空氣軸承在高剛性導(dǎo)軌上運(yùn)行確保了良好的運(yùn)動穩(wěn)定性和超高幾何精度。采用FEM結(jié)構(gòu)分析模擬的*測試保證了幾何運(yùn)動精度,使負(fù)荷及其它變量波動造成的誤差降至小。另外,其他多種技術(shù)如抗振測量等用于驅(qū)動單元結(jié)構(gòu)中,實(shí)現(xiàn)了超高精度。
• 配備有三豐超高精度標(biāo)尺、熱膨脹系數(shù)幾乎為零的超高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高性能的反射型線性編碼器。為其完美性能提供了的位置檢測功能。超高精度CNC三坐標(biāo)測量機(jī)LEGEX12128
• LEGEX高精度系列三坐標(biāo)測量機(jī)配有溫度補(bǔ)償功能,因此設(shè)置環(huán)境不需要恒溫控制室,就可以在18-22ºC的溫度范圍內(nèi)保證主機(jī)精度。
• 提供豐富的選件,包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測頭,數(shù)據(jù)處理部等支持超高精度測量,如要求高尺寸精度的齒輪、軸承、透鏡、硬模或滾動轉(zhuǎn)子。
規(guī)格
項(xiàng)目 | 型號 | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | LEGEX 12128 |
測量范圍 | X軸 | 500mm | 700mm | 700mm | 900mm | 1200mm |
Y軸 | 700mm | 700mm | 700mm | 1000mm | 1200mm | |
Z軸 | 450mm | 450mm | 600mm | 600mm | 800mm | |
測量方法 | 超高精度線性編碼器 | |||||
大測量速度 | 200mm/s | |||||
大加速度 | 1000mm/s2 | |||||
分辨力 | 0.00001mm | |||||
精度 (JIS B7440-2)*1 (2003) | MPEE 【L:測量長度 (mm)】 | (0.35+L/1000)μm | (0.6+1.5L/1000) μm | |||
MPEP | 0.45μm | 0.6μm | ||||
MPETHP | 1.4μm | 1.8μm | ||||
導(dǎo)向系統(tǒng) | 各軸均采用氣浮軸承 | |||||
工作臺 | 材料 | 鑄鐵*2 | ||||
尺寸 | 550×750mm | 750×750mm | 750×750mm | 950×1050mm | 1250×1250mm | |
緊固用螺釘孔 | M8x1.25mm (工件固定用) | |||||
大測量高度 | 706mm | 696mm | 867mm | 861mm | 1056mm | |
大負(fù)載 | 200kg | 500kg | 500kg | 800kg | 1000kg | |
重量 | 3900kg | 5000kg | 5100kg | 6500kg | 10500kg | |
空氣供給 | 氣壓 | 0.4MPa*3 | 0.5MPa*4 | 0.4MPa*3 | ||
消耗量 | 120L/min*5 (正常情況下) |
*1 使用測頭: MPP310Q。
可確保精度的溫度范圍: 18 - 22°C, 溫度變化: 0.5K/h, 溫度梯度: 1K/m。
*2 也可選擇陶瓷涂層。
*3 需要0.5MPa-0.9MPa氣壓。
*4 需要0.55MPa-0.9MPa氣壓。
*5 需要160L/min以上氣壓。