我公司是德國海德漢公司在中國的獨資公司，總部設在北京，在香港、上海、深圳、哈爾濱、沈陽、西安、成都、武漢、寧波和南京設有分公司和辦事處。海德漢是一家研發(fā)和制造光柵尺，角度、旋轉編碼器，長度計，數控系統(tǒng)，測頭和數顯表等的專業(yè)公司。產品遍布*，具有廣泛的應用領域，包括機床行業(yè)、自動化設備制造行業(yè)、半導體和電子器件設備制造業(yè)、航空航天、紡織和印刷機械以及電梯等行業(yè)。

如果光柵尺能夠測量一個新的維度，那將變得非常新奇。海德漢公司現(xiàn)在就推出了一款1Dplus光柵尺。經過多次研發(fā)后，海德漢公司設計出了一款*的創(chuàng)新型二維光柵尺，它可以測量某個工作臺或設備運動時的線性導向誤差及溫漂誤差，因而可以對這些誤差進行快速處理和補償。這就使系統(tǒng)在初次測量時就能精確地完成任務。

目前1Dplus二維光柵尺醉可能的應用領域包括平面工作臺、龍門運動結構、晶圓設備以及大型純平顯示器的生產和測試，希望提升任何運動平臺性能的用戶都將從中受益。

1Dplus二維光柵尺具有真正革命意義的1Dplus編碼器無摩擦，并在兩個維度上都有光柵，配有兩個或三個掃描部件，可在X和Y方向上進行同時測量。三個掃描部件可計算支撐掃描部件支架的旋轉角度。這些正交編碼器光柵可以對新維度進行精確地測量，它們既測量左右方向（X軸）的運動，也測量上下方向（Y軸）的運動（通過控制進行補償）。海德漢早期和當前使用的1Dplus編碼器分別是干涉型線性光柵和LIF400 1Dplus（見圖）。測量標準是熱膨脹系數為0ppm/K的DIADUR。當前測量長度為300×2mm，今后計劃大幅度提高此值。1Dplus本身規(guī)格為20×4.9mm。

1Dplus的X軸測量精度等級為±1 μm，包括一個參考標記。光柵周期為8 μm；信號周期為4μm。