單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理
壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。
當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí)，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成比例的變化，再由橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。
● 精度高
● 量程、零點(diǎn)外部連續(xù)可調(diào)
● 穩(wěn)定性能好
● 正遷移可達(dá)500%、負(fù)遷移可達(dá)600%
● 二線(xiàn)制
● 阻尼可調(diào)、耐過(guò)壓
● 固體傳感器設(shè)計(jì)
● 無(wú)機(jī)械可動(dòng)部件、維修量少
● 重量輕(2.4kg)
● 全系列統(tǒng)一結(jié)構(gòu)、互換性強(qiáng)
● 小型化(166mm總高)
● 接觸介質(zhì)的膜片材料可選
● 單邊抗過(guò)壓強(qiáng)
● 低壓澆鑄鋁合金殼體
