MEGATORR公司蝶泳閥門MR30ITV000SN銷售
非加熱插槽蝶泳閥門MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605
通過閥部0～90°可變來進行真空壓力控制的節(jié)流閥。各種真空室（蝕刻裝置等）的壓力控制可以快速響應(yīng)，通過與AP系列控制器/電容計并用，可以在半導(dǎo)體等工藝中獲得高速響應(yīng)、真空壓力控制。
MEGATORR公司蝶泳閥門MR30ITV000SN銷售
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非加熱插槽蝶泳閥門MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605
通過閥部0～90°可變來進行真空壓力控制的節(jié)流閥。各種真空室（蝕刻裝置等）的壓力控制可以快速響應(yīng)，通過與AP系列控制器/電容計并用，可以在半導(dǎo)體等工藝中獲得高速響應(yīng)、真空壓力控制。
寬帶閥040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)
在以往的真空壓力控制中，隨著過程的多樣化，壓力控制范圍也呈現(xiàn)出多樣化的趨勢，特別是在低真空（高壓）下壓力控制的需求增加。閥門加熱溫度也一樣，隨著過程氣體的多樣化，變得更需要溫度。為了滿足您的要求而開發(fā)的是這個寬帶閥門。
寬壓力控制范圍：101.33kPa（大氣壓）～10Pa以下（760Torr～70mTorr以下）可以控制，還能加熱到200℃。
株式會社タクミナTACMINA，新明和工業(yè),EIM電機工業(yè)，東洋電機工業(yè)所，DYNAFLOダイナフロー株式會社，F(xiàn)URUKAWA古河產(chǎn)機システムズ,㈱キョーワKYOWA,FUKKO伏虎金屬工業(yè),TEIKOKUDENKI帝國電機制作所，NIKKISO EIKO日機裝エイコ－,株式會社スプルト工業(yè)SPURT,株式會社ナカキンNAKAKIN,株式會社ジャポンCHEMICAL，SEIKOW星光化工機,株式會社ワールドケミカルWCC,株式會社 トーケミTOHKEMY,名東化工機，株式會社イワキIWAKI,龜嶋鐵工所，大同機械制造,株式會社工進，友野工業(yè)株式會社， 安永エアポンプ株式會社,KISHIGAMI岸上バルブ(株),
UCHIYAMAVALVE 內(nèi)山バルブ製作所,SAWAMURA VALVECO(株)沢村バルブ, NAKAKITA SEISAKUSHO
中北製作所, HAGIWARA VALVE萩原バルブ,AIKAWA VALVE相川バルブ製作所,TAKATORI鷹取製作所,
HINOMOTO BEN MFG日の本辨工業(yè)株式會社，OKANO VALVE 岡野バルブ製造，OSAKAKIKI大阪機器製造,MIZUNO水野ストレーナー工業(yè),SHOWA VALVE昭和バルブ製作所,HVI平田バルブ工業(yè)，NAKAMURA VALVE中村バルブ製作所,YAMADA VALVE 山田バルブ製作所,SHINWA伸和コントロールズ,SR工程株式會社
