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儀器種類 氦質(zhì)譜檢漏儀維修代理商（進(jìn)口）  

氦檢質(zhì)譜漏儀的原理

氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率（通過漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀維修代理商是一臺氦流量計。

萊寶L300i leybold檢漏儀維修代理商租賃?

檢漏儀維修代理商在工作過程中首先是對試驗對象進(jìn)行抽真空，來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進(jìn)入檢漏儀維修代理商。檢漏儀維修代理商利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測量進(jìn)入檢漏儀維修代理商氣體氦分壓并將測量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。萊寶氦質(zhì)譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商租賃詳細(xì)介紹

萊寶L300i leybold檢漏儀維修代理商租賃?

萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商租賃?

氦檢質(zhì)譜漏儀的原理

氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率（通過漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀維修代理商是一臺氦流量計。

檢漏儀維修代理商在工作過程中首先是對試驗對象進(jìn)行抽真空，來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進(jìn)入檢漏儀維修代理商。檢漏儀維修代理商利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測量進(jìn)入檢漏儀維修代理商氣體氦分壓并將測量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。

重要技術(shù)規(guī)范

測量范圍和響應(yīng)時間是檢漏儀維修代理商的兩個重要的參數(shù)。

測量范圍用小和可檢漏率限定。萊寶氦質(zhì)譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商租賃?

小可檢漏率用靈敏的測量范圍系統(tǒng)的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內(nèi)系統(tǒng)噪聲幅度和零點漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀維修代理商的零點漂移量非常小，所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀維修代理商的小可檢漏率?？蓹z漏率依賴于所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見下面的說明）可以測量非常大的漏率。此外，檢漏儀維修代理商內(nèi)部的多級高阻抗輸入開關(guān)放大器也能提高檢漏儀維修代理商測量大漏的能力。在實際的檢漏操作過程中特別是查找漏點的時候，響應(yīng)時間十分重要。該時間指從用氦氣噴吹試驗對象直到檢漏儀維修代理商顯示測量值所用的時間。電子信號調(diào)節(jié)電路系統(tǒng)的響應(yīng)時間是總響應(yīng)時間的重要組成部分。對于檢漏儀維修代理商來說，電氣系統(tǒng)的響應(yīng)時間遠(yuǎn)小于1秒。

蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商租賃、上門維修、上門檢漏

常熟鎮(zhèn)江常州揚州泰州南通南京啟東萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商租賃、上門維修、上門檢漏?

海門如皋海門海安如東宿遷徐州合肥萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商租賃、上門維修、上門檢漏?

蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州紹興金華萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商租賃、上門維修、上門檢漏?

寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商租賃、上門維修、上門檢漏?

廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商租賃、上門維修、上門檢漏?

成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商租賃、上門維修、上門檢漏?

檢漏設(shè)備對氦的有效抽速決定了氦氣通過漏孔進(jìn)入檢漏儀維修代理商的時間（如果檢漏設(shè)備沒有輔助抽空的系統(tǒng)，檢漏儀維修代理商內(nèi)置的真空泵的大小會影響系統(tǒng)的響應(yīng)時間）。檢漏系統(tǒng)的響應(yīng)時間可根據(jù)下面的簡單公式計算：

氦響應(yīng)時間 微

(達(dá)到實際漏率95%的時間)

其中 V = 試驗對象容積

SHe = 檢漏系統(tǒng)對氦的有效抽速。

用標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)檢漏儀維修代理商

檢漏工藝要求準(zhǔn)確地區(qū)分漏與不漏的試用對象，避免任何失誤。這就需要由標(biāo)準(zhǔn)漏孔（能產(chǎn)生已知氦漏率的人工漏孔）作為檢漏設(shè)備的基準(zhǔn)。為了獲得準(zhǔn)確的漏率數(shù)據(jù)，必須使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對校準(zhǔn)檢漏儀維修代理商進(jìn)行校準(zhǔn)。

萊寶真空可以提供采用不同原理設(shè)計的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔。所有標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 聯(lián)邦物理技術(shù)協(xié)會） 和

DAKKS認(rèn)證認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)客戶的要求， 每個氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔都可以提供由DAkkS認(rèn)證認(rèn)可委員會頒發(fā)的校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)工作由萊寶真空在PTB*的DAKKS校準(zhǔn)實驗室完成。

PHOENIX L300i MODUL是模塊化的檢漏儀維修代理商。它以PHOENIX L300i為基礎(chǔ)，但沒有集成前級真空泵?？蛻艨梢愿鶕?jù)特定用途選擇并添加外部前級真空泵。適合大型真空室檢漏或快速循環(huán)檢大漏等檢漏應(yīng)用。

PHOENIX L300i MODUL保持PHOENIXL300i特性，并可以根據(jù)客戶需求配置前級泵。

兩個基本類型：

- 干式檢漏系統(tǒng)（配置干式前級泵）

- 油式檢漏系統(tǒng)（配置油封式前級泵）

PHOENIX L300i MODUL配置油封前級泵

根據(jù)檢漏應(yīng)用的要求配置抽速適當(dāng)?shù)那凹壉脤z漏儀維修代理商的功能發(fā)揮很好。

客戶得益

- 高效的檢漏儀維修代理商

- 抽速按照特定用途進(jìn)行了優(yōu)化

- 響應(yīng)速度快

- 高靈敏度

- 可以快速定量地檢測出小漏

PHOENIX L300i MODUL配置干式前級泵

為客戶提供高效的干式檢漏系統(tǒng)。

客戶得益

- 大抽速，可用于測試半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

而不必采用輔助抽空系統(tǒng)

- 響應(yīng)速度快

- 恢復(fù)時間短（氦污染后）

- 干燥無油

- 高靈敏度

氦質(zhì)譜檢漏儀維修代理商

L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商

L300i MODUL PHOENIX檢漏儀維修代理商

氦檢質(zhì)譜漏儀的原理氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率（通過漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀維修代理商是一臺氦流量計。檢漏儀維修代理商在工作過程中首先是對試驗對象進(jìn)行抽真空，來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進(jìn)入檢漏儀維修代理商。檢漏儀維修代理商利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測量進(jìn)入檢漏儀維修代理商氣體氦分壓并將測量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。重要技術(shù)規(guī)范測量范圍和響應(yīng)時間是檢漏儀維修代理商的兩個重要的參數(shù)。測量范圍用小和可檢漏率限定。小可檢漏率用靈敏的測量范圍系統(tǒng)的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內(nèi)系統(tǒng)噪聲幅度和零點漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀維修代理商的...

PHOENIX L300i MODUL配置油封前級泵

典型應(yīng)用

涉短循環(huán)和/或大容積、需要有移動式

檢漏系統(tǒng)的所有用途，例如：

- 汽車工業(yè)

- 制冷行業(yè)

- 工業(yè)爐/機(jī)床/真空系統(tǒng)

- 包裝

PHOENIX L300i MODUL配置干式前級泵

典型應(yīng)用

需要工藝清潔的所有用途，例如：

- 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)（芯片制造商）

- 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)（OEM和分包商）

- 高純度氣體行業(yè)

- 科研

- 超高真空應(yīng)用

訂貨信息

PHOENIX L300i   MODUL

產(chǎn)品號

產(chǎn)品號

PHOENIX L300i MODUL無前級真空泵 115-230V，50/60Hz

250002V01

250002V01

附件

*的前級真空泵 SOGEVAC SV 16 BI SOGEVAC SV   28 BI SOGEVAC SV 40 BI TRIVAC D 16 B TRIVAC D 25 B SCROLLVAC SC 15 D   SCROLLVAC SC 30 DL

歐洲版230V, 50Hz 960 286960 277根據(jù)需求提供113   25113 35133 001 133 050

美國版 115V,   60Hz 根據(jù)需求提供 根據(jù)需求提供根據(jù)需求提供 根據(jù)需求提供 根據(jù)需求提供 133 101 133 051

其他附件參見“PHOENIX   L300i、PHOENIX L300iDRY和PHOENIX   L300i MODUL附件”部分。

技術(shù)參數(shù)

PHOENIX L300i   MODUL

配置單級旋片泵

配置雙級旋片泵

配置渦旋泵

小可檢氦漏率真空模式吸槍（實驗室數(shù)據(jù)）

毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1

≤ 5 x 10-11 < 7 x 10-9

≤ 5 x 10-12 < 7 x 10-9

≤ 8 x 10-12 < 7 x 10-9

小可檢氫漏率真空模式吸

毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1

≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7

≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7

≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7

入口高壓強帶分流系統(tǒng)

毫巴（托）毫巴（托）

15 1000

15 1000

15 1000

抽真空期間的抽速，泵（50赫茲）

SOGEVAC SV 16 BI

立方米/小時

16

–

–

SOGEVAC SV 28 BI

立方米/小時

25

–

–

SOGEVAC SV 40 BI

立方米/小時

40

–

–

TRIVAC D 16 B

立方米/小時

–

16

–

TRIVAC D 25 B

立方米/小時

–

26

–

SCROLLVAC SC 15 D

立方米/小時

–

–

13

SCROLLVAC SC 30 DL

立方米/小時

–

–

26

入口抽速（氦）

升/秒

> 3 1

> 3 1

> 3 1

漏率信號時間常數(shù)（達(dá)63%終值）

秒

< 1

< 1

< 1

小可檢漏率

毫巴x升x秒-1

1 x 10-12 to 1 · 10-1

1 x 10-12 to 1 · 10-1

1 x 10-12 to 1 · 10-1

測量單位（可選）壓強漏率

mbar, Pa, atm, Torr mbar x   l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq

mbar, Pa, atm, Torr mbar x   l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq

mbar, Pa, atm, Torr mbar x   l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, ppm, g/a eq, oz/yr eq

檢漏儀維修代理商啟動時間

分鐘

< 2

< 2

< 2

質(zhì)譜儀

180°扇形磁場

180°扇形磁場

180°扇形磁場

離子源

2氧化釔/銥*陰極

2氧化釔/銥*陰極

2氧化釔/銥*陰極

可檢測質(zhì)量數(shù)

2, 3 和   4

2, 3 和   4

2, 3 和   4

入口

1 x DN 25 ISO-KF

1 x DN 25 ISO-KF

1 x DN 25 ISO-KF

尺寸（寬x高x深）

mm

495 x 456 x 314

495 x 456 x 314

495 x 456 x 314

重量

千克(磅)

30

30

30

語言

英語、德語、中文、日語、俄語、法語、意大利語、西班牙語、波蘭語和朝鮮語