概要：
MT-30A系列質(zhì)量流量計/控制器由質(zhì)量流量傳感器，
分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部
件組成。
本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細
管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)爾制成
采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流
量，可以不受溫度壓力的影響，將傳感器測得得流
量信號進行放大，然后與設(shè)定的電壓值進行比較，
用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制
流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
●標(biāo)準(zhǔn)
本公司產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)件和命名方法。SJ/T10583-94 以及SJ37 所規(guī)定的通用技術(shù)條 產(chǎn)品尺寸127×28×100mm
質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)
SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K( 0℃ )
氣壓--101325pa(760mm Hg) F.S(Full Scale):滿量程值
特點：
MT-30A系列可應(yīng)用在5SCCM-30SLM的氣體流量范圍
并且不會受到溫度及壓力變化的影響，應(yīng)用范圍廣
●模擬式質(zhì)量流量計/控制器
·低單價 ·環(huán)境溫度補正 ·可應(yīng)用流量范圍廣
·0-5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
·0-1, 2 , 3 , 5 , 10, 20 , 30SLM
●高精度
·±1%F.S（≤15SLM） ·±2%F.S（＞15SLM）
●小體積
●可選用MT-1A流量顯示儀或MT-1B流量積算儀配
套使用。
●輸入，輸出，供電
·輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
·輸出電壓檢測…………0～+5.00V
●基本參數(shù)
功能 | 流量計/控制器 | |
基本型號 | MT-30A | |
滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
SLM | 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
精度(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±2(＞15SLM.) | ||
控制閥動作型式 | 常閉式 | |
線性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
±2％(＞15SLM.) | ||
重復(fù)精度(％F.S.) | ±0.2 | |
響應(yīng)時間(sec) | ≤1 | |
流量輸出信號 | 0-+5.00V | |
流量設(shè)定信號 | 0-+5.00V | |
電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5～45 |
工作壓差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
大耐壓 | 3MPa | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 304，316，316L | |
密封材料 | 氟橡膠，硅橡膠，聚四氟乙烯 | |
接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 0.75KG | |
